[发明专利]传感器测试装置及方法

权利要求书

1.一种传感器测试装置，其特征在于，包括测试平台、光源、储气装置、配气装置、测试腔体、光学分析装置、光纤连接器以及终端设备，待检测气体传感器设置于所述测试腔体内；

所述测试腔体设置于所述测试平台，所述储气装置与所述配气装置连通，所述配气装置与所述测试腔体连通，所述配气装置与所述测试腔体之间连接有气体流量控制装置，所述待检测气体传感器一端通过光纤连接器与所述光源连接、另一端通过所述光纤连接器与所述光学分析装置连接，所述光学分析装置与所述终端设备连接；

所述储气装置为多个，各所述储气装置分别与所述配气装置连通，所述配气装置根据预设配气标准获取不同储气装置中的气体并混合均匀，之后在所述气体流量控制装置的控制下，所述配气装置按照预设速率向所述测试腔体中加入混合均匀后的气体，所述光学分析装置每间隔预设时长获取所述光源发出的光通过所述待检测气体传感器前后的数据进而获得所述待检测气体传感器不同时刻的检测结果，所述终端设备获取不同时刻的检测结果并与预存性能指标进行对比，分析得到所述待检测气体传感器的测试精度、响应速度和检测结果准确性的性能。

2.根据权利要求1所述的传感器测试装置，其特征在于，所述光源为激光光源，所述待检测气体传感器为氢传感器，多个储气装置中包括存储有氮气的储气装置，所述测试腔体与存储有氮气的储气装置连通。

3.根据权利要求1所述的传感器测试装置，其特征在于，所述传感器测试装置还包括温度控制装置和湿度控制装置，所述温度控制装置设置于所述测试腔体内并检测和/或调整所述测试腔体内的温度，所述湿度控制装置设置于所述测试腔体内并检测和/或调整所述测试腔体内的湿度。

4.根据权利要求1所述的传感器测试装置，其特征在于，所述待检测气体传感器包括感应部，所述传感器测试装置还包括电信号检测装置和两个探针位移调节装置，所述电信号检测装置用于检测所述感应部两端的电信号，分析得到所述待检测气体传感器的电性能；

其中一个所述探针位移调节装置设置于所述感应部的一端与所述电信号检测装置之间，另一个所述探针设置于所述感应部的另一端与所述信号检测装置之间。

5.根据权利要求1所述的传感器测试装置，其特征在于，所述光纤连接器包括单模通信光纤、多模通信光纤和/或裸露光纤。

6.根据权利要求1所述的传感器测试装置，其特征在于，所述配气装置为动态配气系统，所述配气装置的配气精度为10ppb级。

7.一种传感器测试方法，应用于权利要求4-6任意一条所述的传感器测试装置，其特征在于，所述方法包括：

开启光源、光学分析装置；

配气装置根据预设配气标准获取各储气装置中的气体并混合均匀；

气体流量控制装置根据预存传输速率将混合后的气体输送至测试腔体中；

光学分析装置每间隔预设时长获取光源通过待检测气体传感器前后的数据，并获得所述待检测气体传感器不同时刻的检测结果；

终端设备获取不同时刻的检测结果并与预存性能指标进行对比，分析得到所述待检测气体传感器的测试精度、响应速度和检测结果的性能。

8.根据权利要求7所述的传感器测试方法，其特征在于，在开启光源、光学分析装置之前所述方法还包括：

通过与所述测试腔体连通的储气装置向所述测试腔体中通入氮气清洗所述测试腔体。

9.根据权利要求7所述的传感器测试方法，其特征在于，所述方法还包括：

温度控制装置控制所述测试腔体内的温度达到预设温度值，湿度控制装置控制所述测试腔体内的湿度达到预设湿度值。

10.根据权利要求7所述的传感器测试方法，其特征在于，所述方法还包括：

分别通过两个探针位移调节装置调节两个探针到所述待检测气体传感器的感应部两端之间的距离后，电信号传感器测试装置检测所述待检测气体传感器的电信号。