[发明专利]一种设备磨损异常诊断方法、系统及装置

说明书

本发明公开了一种设备磨损异常诊断方法、系统及装置，涉及磨损检测相关技术领域，其中，所述方法包括：根据设备运行时序图，相应获取当前运动设备部件的气流场中的微粒数据；根据所述微粒数据判断发生异常的气流场对应的设备部件；针对异常设备部件，获取声音或振动数据，并且将声音或振动数据与微粒数据进行融合处理，得到同一时间标准下声音或振动数据与微粒数据之间的复合关系；根据声音或振动数据与微粒数据之间的复合关系，判断磨损发生的具体位置或动作。所述设备磨损异常诊断方法、系统及装置能够准确获取设备中的运动机构发生异常磨损的位置或动作。

技术领域

本发明涉及磨损检测相关技术领域，特别是指一种设备磨损异常诊断方法、系统及装置。

背景技术

在精加工相关技术领域，生产线工艺设备多为高速全自动搬送设备和机械运动工艺设备，且设备中具有各类电机、连接轴等运动部件。这些运动部件的动作将不可避免的带来磨损。以TFT-LCD工艺流程为例，TFT-LCD工艺制备流程复杂、工艺生产设备众多，设备内运动机构部件，例如：履带、丝杆、滑块、齿轮等，不可避免的存在磨损，磨损产生的微粒(Particle)若不及时消除，随气流流动，存在带入Glass上的风险，Glass传输经Cell真空对盒工序后附着微粒将无法修复，极大的影响了良品率和生产效益。

针对于这类搬送往复式运动工艺设备，目前的故障诊断一般采用听异响的方式，但是单纯依靠听异响无法进行故障预兆的检测，当异响发生时，设备磨损已经非常严重，导致生产线内微粒高发，设备发生损坏，无法运转，更不能有效解决故障判定中的实机个体差的吸收、故障原因的判定之类的问题。因此，当前的故障诊断在微粒高发时，由于运动状态的复杂性，无法准确判断是哪个运动机构产生的磨损微粒。

所以，在实现本申请的过程中，发明人发现现有技术至少存在以下缺陷：无法准确判断异常磨损发生的位置或动作。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提出一种设备磨损异常诊断方法、系统及装置，能够准确获取设备中的运动机构发生异常磨损的位置或动作。

基于上述目的本发明提供的一种设备磨损异常诊断方法，包括：

根据设备运行时序图，相应获取当前运动设备部件的气流场中的微粒数据；

根据所述微粒数据判断发生异常的气流场对应的设备部件；

针对异常设备部件，获取声音或振动数据，并且将声音或振动数据与微粒数据进行融合处理，得到同一时间标准下声音或振动数据与微粒数据之间的复合关系；

根据声音或振动数据与微粒数据之间的复合关系，判断磨损发生的具体位置或动作。

可选的，所述根据设备运行时序图，相应获取当前运动部件的气流场中的微粒数据的步骤之前还包括：

根据设备的结构特点，针对相对独立的设备部件分别形成相对密封的腔室；

在设备部件的相应位置设置送气装置和排气装置，用于使得腔室内形成气流场且气流方向与设备部件的动作相匹配；

针对设备部件的气流场相应设置微粒检测部件，用于检测气流场内的微粒数据。

可选的，所述根据设备运行时序图，相应获取当前运动部件的气流场中的微粒数据的步骤还包括：

获取设备运行时序图并确定当前时间设备需要进行的动作；

根据当前正在进行的动作，确定单个动作或多个动作所对应的设备部件；其中，不同的设备部件分别具有各自的气流场以及相应的微粒检测器件；

分别对设备部件的气流场中的微粒进行检测，得到不同设备部件对应的微粒数据。

可选的，所述根据所述微粒数据判断发生异常的气流场对应的设备部件的步骤还包括：