[发明专利]光波检测器用衬底及其制备方法

权利要求书

1.一种光波检测器用衬底的制备方法，包括以下步骤：

(1)将氧化石墨烯、环氧树脂加入PMA，回流搅拌40分钟后加入N-丁烯基邻苯二甲酰亚胺与二苯基硅二醇，继续搅拌2分钟，然后加入二乙基亚磷酸酯、过氧化二异丙苯，搅拌50分钟，得到有机层前驱体；

(2)向乙醇和三氟乙酸中加入六氯铱酸铵，搅拌后，在氮气保护下，再加入仲丁基锂、辛酸亚锡；回流搅拌80分钟后加入氨水；反应90分钟后自然冷却至室温，加入乙酸乙酯，静置后离心，得到离心沉淀物；

(3)将离心沉淀物水洗后分散于乙醇中得分散体系；在分散体系中加入乙酸锰、硝酸钴、水，搅拌2分钟加入三茂钐，搅拌3小时，得到陶瓷层前驱体；

(4)将离心沉淀物水洗后分散于乙醇中得分散体系，再加入聚乙烯醇、双氧水、四苯基卟啉铁，60℃搅拌2小时，然后加入4-乙烯基苯甲酸甲酯、八甲基环四硅氧烷、4，6-二甲基吡啶-2-酮，回流搅拌40分钟，然后浓缩得到固含量60％的浓缩物；将浓缩物进行超重力处理；然后喷雾干燥，得到纳米粉；所述超重力处理的转速为45000～50000rpm；浓缩物的流量为140～150mL/min；

(5)将纳米粉加入有机层前驱体中，搅拌15分钟后加入碳纳米管，搅拌90分钟得到复合层前驱体；

(6)在清洁的硅片上依次涂覆有机层前驱体、复合层前驱体、陶瓷层前驱体，得到衬底；每次涂覆后210℃下干燥。

2.一种光波检测器用衬底前驱体的制备方法，包括以下步骤，将权利要求1所述有机层前驱体、复合层前驱体、陶瓷层前驱体组合得到光波检测器用衬底前驱体。

3.一种光波检测系统的制备方法，包括以下步骤，在权利要求1所述衬底上利用外延法制备铝镓氮/镓氮层；然后制备有源区台面、栅介质、欧姆接触窗口、电极，从而得到光波检测器；将光波检测器进行封装，得到光波检测装置；将光波检测装置与支架、电脑、指示灯组合，得到光波检测系统。

4.一种光波检测器的制备方法，包括以下步骤，在权利要求1所述衬底上利用外延法制备铝镓氮/镓氮层；然后制备有源区台面、栅介质、欧姆接触窗口、电极，从而得到光波检测器。

5.一种光波检测装置的制备方法，包括以下步骤，在权利要求1所述衬底上利用外延法制备铝镓氮/镓氮层；然后制备有源区台面、栅介质、欧姆接触窗口、电极，从而得到光波检测器；将光波检测器进行封装，得到光波检测装置。

6.根据权利要求1～5所述的制备方法，其特征在于，六氯铱酸铵、仲丁基锂、辛酸亚锡、乙醇、三氟乙酸、氨水、乙酸锰、硝酸钴、水、三茂钐的质量比为10∶5∶25∶150∶100∶20∶20∶35∶40∶5；离心沉淀物、聚乙烯醇、双氧水、四苯基卟啉铁、4-乙烯基苯甲酸甲酯、八甲基环四硅氧烷、4，6-二甲基吡啶-2-酮的质量比为100∶20∶5∶0.1∶10∶8∶8；氧化石墨烯、环氧树脂、PMA、N-丁烯基邻苯二甲酰亚胺、二苯基硅二醇、二乙基亚磷酸酯、过氧化二异丙苯的质量比为5∶100∶100∶20∶15∶20∶2；纳米粉、有机层前驱体、碳纳米管的质量比为100∶40∶1。

7.根据权利要求1～5所述的制备方法，其特征在于，所述氨水的质量浓度为15％；所述聚乙烯醇的分子量为1500～2000。

8.根据权利要求1～4所述的制备方法，其特征在于，有机层前驱体、复合层前驱体、陶瓷层前驱体在耐热基底上的厚度分别为20微米、800微米、400微米；所述外延法为金属有机物化学气相外延法、分子束外延法或者氢化物气相外延法。

9.根据权利要求1、2、3、4或者5所述的制备方法制备的产品。

10.权利要求10所述产品在光波检测中的应用。