[发明专利]测量探针和测量装置

说明书

本发明涉及测量探针和测量装置。一种探针，其包括：可动板，其上安装有能够接触被测量物的触针，可动板能够沿X方向移位；静止板，其配置成与可动板重叠；对置板，其面对可动板和静止板；具有弹性的可动侧连接板，可动侧连接板利用第一端连接器和第二端连接器中的每一者在至少三个位置处连接对置板，其中，第一端连接器定位在可动板的在X方向上的第一端侧，第二端连接器定位在可动板的在X方向上的第二端侧；以及静止侧连接板，其连接静止板和对置板。第一端连接器的在与X方向正交的Y方向上的全长与第二端连接器的在Y方向上的全长尺寸相同。

相关申请的引用

本申请要求2016年7月19日提交的日本专利申请No.2016-141320的优先权，其全部内容通过引用明确地合并于此。

技术领域

本发明涉及测量探针和测量装置。

背景技术

诸如三维测量装置等的测量装置包括通过接触被测量物进行测量的测量探针。测量探针可拆装地安装于测量装置的主轴，并且测量探针包括接触被测量物的触针。

在日本特表平02-502488号公报中说明的测量探针被构造成具有三个弹簧的平行四边形，使得触针能够沿X、Y和Z方向平移。具有弹簧的平行四边形构造有内板、外板、中板和板簧等。触针安装于内板并且能够与内板一起平移。

在上述日本特表平02-502488号公报中说明的构造中，当触针接触被测量物时，外力会施加到安装触针的内板，例如，该外力沿例如与内板平移的方向正交的方向施加。在这种情况下，内板受到扭转力并试图转动。此时，由于内板的刚性不足而导致意外的变形，并且触针的安装位置大幅移位。由于触针的安装位置的移位而出现测量误差。

发明内容

考虑上述情况而做出了本发明，本发明抑制了由安装有触针的板受到扭转力而造成的触针的移位。

在根据本发明的一个方面中，测量探针通过接触被测量物进行测量，并且测量探针包括：可动板，其上安装有能够接触被测量物的触针，可动板能够沿第一方向移位；静止板，其配置成与可动板重叠；对置板，其面对可动板和静止板；具有弹性的可动侧连接板，可动侧连接板利用第一端连接器和第二端连接器中的每一者在至少三个位置处连接对置板，其中，第一端连接器定位在可动板的在第一方向上的第一端侧，第二端连接器定位在可动板的在第一方向上的第二端侧；以及静止侧连接板，其连接静止板和对置板。第一端连接器的在与第一方向正交的第二方向上的全长与第二端连接器的在第二方向上的全长尺寸相同。

另外，可动板的在第一方向上的第一端的形状和可动板的在第一方向上的第二端的形状可以彼此不对称。

此外，第二端连接器与安装触针的安装位置之间的距离可以大于第一端连接器与安装位置之间的距离。

此外，可动侧连接板和静止侧连接板可以由单个板构件形成，可动侧连接板的对置板所在侧的部分和静止侧连接板的对置板所在侧的部分连接。

另外，可动板、静止板、对置板、可动侧连接板和静止侧连接板分别是第一可动板、第一静止板、第一对置板、第一可动侧连接板和第一静止侧连接板。测量探针还可以包括：第二可动板，其经由联接部联接到第一静止板，并且能够沿与第一方向正交的第二方向移位；第二静止板，其配置成与第二可动板重叠；第二对置板，其面对第二可动板和第二静止板；具有弹性的第二可动侧连接板，第二可动侧连接板利用定位在第二可动板的在第二方向上的第一端侧的第一端连接器和定位在第二可动板的在第二方向上的第二端侧的第二端连接器中的每一者在至少三个位置处连接第二对置板；以及第二静止侧连接板，其连接第二静止板和第二对置板。第二可动侧连接板的第一端连接器在第一方向上的全长与第二可动侧连接板的第二端连接器在第一方向上的全长尺寸可以相同。

另外，第二可动板可以位于第一对置板的上方，并且第一对置板可以包括形成供柱状的联接部通过的贯通孔的开口部。