[发明专利]一种防指纹膜的镀膜方法在审
申请号: | 201710595359.1 | 申请日: | 2017-07-20 |
公开(公告)号: | CN109280887A | 公开(公告)日: | 2019-01-29 |
发明(设计)人: | 王伟;张扬;常杰;范雪锋 | 申请(专利权)人: | 深圳市一诺真空科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/12 | 分类号: | C23C14/12;C23C14/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 表面制备 防指纹膜 抗擦伤性 过渡层 结合层 硬化层 镀膜 加工稳定性 碳化硅膜层 氧化硅膜层 氧化铝膜层 残余应力 基板表面 行业需求 氮化硅 附着性 均匀性 天然的 指纹层 基板 膜层 制备 | ||
本发明公开了一种防指纹膜的镀膜方法,该方法包括清理基板表面;在所述基板的表面制备氧化铝膜层,形成过渡层;在所述过渡层的表面制备氮化硅或碳化硅膜层,形成硬化层;在所述硬化层的表面制备氧化硅膜层,形成结合层;在所述结合层的表面制备防指纹层。通过该方法制备的防指纹膜硬度更高,抗擦伤性更好,显著提升了防指纹膜的性能,具有优异的膜层精度、硬度、抗擦伤性和附着性、天然的无残余应力特性、优越的加工稳定性、均匀性和重复性、9H”以上硬度的行业需求。
技术领域
本发明涉及镀膜技术,尤其涉及一种防指纹膜的镀膜方法。
背景技术
防指纹药是由特殊结构的氟硅树脂配制而成的一种含氟涂料,在化学专家的口头术语一般是十七氟葵基三乙氧基硅烷,是根据产品的分子结构组合命名的。超硬防指纹膜层具有防水防油防污、防潮、绝缘、耐酸、防指纹、耐磨抗刮痕、高附着力、透光率强等优越性能,镀制了超硬防指纹膜层的材料不易附着指纹、油污等污染物,便于清洁打理。主要应用在手机,照相机,触屛电脑和电视等高端数码产品的保护玻璃,以及陶瓷卫浴、五金洁具等高端产品的防水防污防指纹处理。
超硬薄膜是指莫氏硬度>9H的固体薄膜材料。它具有极高的硬度、低的摩擦系数和热膨胀系数、高的热导率以及与基体良好的相容性。此外,超硬膜往往还具有高的光通过率,空穴的可移动性以及优异的化学稳定性能。
目前,对玻璃光学镜片、金属、陶瓷等产品的真空膜层性能的要求更高,需要优异的膜层精度、硬度、抗擦伤性和附着性、天然的无残余应力特性、优越的加工稳定性、均匀性和重复性、9H”以上硬度的行业需求。
因此,上述技术问题需要解决。
发明内容
为了克服现有技术的不足,本发明提出一种防指纹膜的镀膜方法,通过该方法制备的防指纹膜硬度更高,抗擦伤性更好。
为了解决上述的技术问题,本发明提出的基本技术方案为:
一种防指纹膜的镀膜方法,包括以下步骤:
S1,清理基板表面;
S2,在所述基板的表面制备氧化铝膜层,形成过渡层;
S3,在所述过渡层的表面制备氮化硅或碳化硅膜层,形成硬化层;
S4,在所述硬化层的表面制备氧化硅膜层,形成结合层;
S5,在所述结合层的表面制备防指纹层。
其中,所述步骤S1之前,还包括:将防指纹药安装在真空镀膜机上。
其中,所述步骤S1具体包括:
将清洗干净的基板装进真空镀膜机;
所述真空镀膜机的真空度达到7.5*10-3pa时,对所述基板表面进行离子轰击;充入流量为30sccm的中频氩气、流量为50sccm的离子源,所述离子源的电源电压为600V,工作压强为2.9*10-1pa,时间持续三分钟。
其中,所述步骤S2具体为:
所述真空镀膜机的真空度达到4.0*10-3pa时,在所述基板的表面镀氧化铝,形成过渡层;具体为:充入流量为30sccm的中频氩气、流量为25sccm的离子源、流量为80sccm的中频氧气,所述中频电源的电流为30A,工作压强为4.5*10-1pa,时间持续六分钟。
其中,所述步骤S3具体为:
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