[发明专利]等离子体分光分析方法及等离子体分光分析装置

说明书

技术领域

本公开涉及等离子体分光分析方法及等离子体分光分析装置。

背景技术

作为对试料中的分析对象物进行分析的方法，已知有利用了等离子体发光的分析方法。关于所述分析方法，专利文献1公开了使用高频等离子体质量分析装置对试料进行分析的方法。而且，专利文献2及3公开了使用具有狭小部的等离子体产生装置，使试料中产生等离子体，通过分析等离子体发光来分析试料的方法。此外，专利文献4及5公开了在液体的试料中使等离子体产生，通过分析等离子体发光来分析试料的方法。

然而，在专利文献1的方法中，当未进行适当的前处理时，存在由于其他的物质的混入而分析结果发生变化的问题。而且，在专利文献2及3的方法中，在使用存在夹杂物的试料的情况及在进行减少试料的液量的前处理时混入了异物等的情况下，存在所述夹杂物及所述异物堵塞于所述狭小部而无法进行测定的问题。此外，在专利文献4及5的方法中，存在分析灵敏度低的问题。

【现有技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2009-128315号公报

【专利文献2】日本特开2011-180045号公报

【专利文献3】日本特开2012-185064号公报

【专利文献4】国际公开第2006/059808号

【专利文献5】国际公开第2011/099247号

发明内容

【发明要解决的问题】

于是，本公开的目的在于提供一种分析灵敏度高且抑制了例如试料分析时的分析误差的产生的等离子体分光分析方法及使用于该等离子体分光分析方法的等离子体分光分析装置。

【用于解决问题的手段】

为了解决所述课题，本公开的等离子体分光分析方法(以下，也称为“分析方法”)的特征在于，包括：

浓缩工序，包括在试料的存在下对一对电极进行电压施加的电压施加工序，通过所述电压施加来将所述试料中的分析对象物浓缩于至少一方的电极的附近；及

检测工序，通过向所述一对电极施加电压而产生等离子体，对因所述等离子体而产生的所述分析对象物的发光进行检测，

所述浓缩工序的至少一部分的期间的电压施加时的一对电极间的电流恒定。

本公开的等离子体分光分析装置(以下，也称为“分析装置”)的特征在于，包括一对电极、容器、受光部及定电流部，

所述容器包括透光部，

所述一对电极配置在所述容器内，

在所述容器的外部配置有受光部，所述受光部能够透过所述透光部而接收通过向所述一对电极施加电压而产生的分析对象物的发光，

所述定电流部连接于所述一对电极，且在向所述一对电极施加电压时，使所述一对电极间的电流恒定，

所述等离子体分光分析装置使用于所述本公开的等离子体分光分析方法。

【发明效果】

根据本公开的等离子体分光分析方法，分析灵敏度高，且能够抑制例如试料分析时的分析误差的产生。

附图说明

图1(A)示出本公开的分析装置的实施方式的分析装置的示意透视立体图，图1(B)是从图1(A)的I-I方向观察的示意剖视图。

图2是示出实施例1的铅浓度与计数值的相关的坐标图。

图3是示出实施例2的各周期的计数值的坐标图。

【附图标记说明】

1、2电极

3透光部

4容器

5受光部

6定电流部

7绝缘性材料

10 分析装置

具体实施方式

<等离子体分光分析方法>

如前所述，本公开的等离子体分光分析方法的特征在于，包括：浓缩工序，包括在试料的存在下对一对电极进行电压施加的电压施加工序，通过所述电压施加来将所述试料中的分析对象物浓缩于至少一方的电极的附近；及检测工序，通过向所述一对电极施加电压而产生等离子体，对因所述等离子体而产生的所述分析对象物的发光进行检测，所述浓缩工序的至少一部分的期间的电压施加时的一对电极间的电流恒定。本公开的分析方法的特征在于，包括所述浓缩工序及所述检测工序，所述浓缩工序的至少一部分的期间的电压施加时的一对电极间的电流恒定，其他的工序及条件并不特别限制。