[发明专利]一种3D打印装置有效

专利信息
申请号: 201710602154.1 申请日: 2017-07-21
公开(公告)号: CN107379528B 公开(公告)日: 2020-04-07
发明(设计)人: 王欢;符庭钊;崔绍晖;李超波;夏洋 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: B29C64/20 分类号: B29C64/20;B29C64/268;B29C64/245;B29C64/135;B29C64/153;B22F3/105;B28B1/00;B33Y30/00
代理公司: 北京华沛德权律师事务所 11302 代理人: 房德权
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 打印 装置
【权利要求书】:

1.一种3D打印装置,其特征在于,包括:

激光器,用于产生激光束;

反射镜,设置于所述激光器的激光束出射方向,用于对所述激光器产生的所述激光束进行反射;

准直透镜,设置于所述反射镜的反射光束的出射方向,用于对所述反射镜出射的所述反射光束进行准直;

超表面聚焦透镜,设置于所述准直透镜的准直后光束的出射方向,用于对从所述准直透镜出射的所述准直后光束进行汇聚,以汇聚成聚焦光斑;

打印材料承载装置,设置于所述超表面聚焦透镜汇聚成的所述聚焦光斑处;

三维移动台,与所述打印材料承载装置连接,以控制所述打印材料承载装置进行三维移动;

所述超表面聚焦透镜包括:透光衬底和超表面结构,所述超表面结构覆盖于所述透光衬底的对着所述打印材料承载装置的侧表面;

所述打印材料承载装置包括:

连接于所述三维移动台的移动控制杆的载物台、承载于所述载物台上的载物片、以及夹持所述载物片的载物片夹具;

其中,所述载物片夹具固定于所述载物台上;

所述载物片夹具包括:

第一载物片夹件,设置于所述载物台的台面上;

第二载物片夹件,设置于所述载物台的台面上,所述第二载物片夹件与所述第一载物片夹件相对着平行设置,所述第一载物片夹件和所述第二载物片夹件上均形成有凹形卡槽,所述载物片卡入所述第一载物片夹件的凹形卡槽和所述第二载物片夹件的凹形卡槽内;

所述超表面结构具体为传输相位型超表面、电路型相位超表面、几何相位型超表面中的一种,或者为所述传输相位型超表面、所述电路型相位超表面、所述几何相位型超表面中的至少两种的融合;

所述透光衬底具体为石英材质或玻璃材质;

所述载物片上涂有3D打印材料;

所述三维移动台具体为:具有X维度运动、Y维度运动和Z维度运动的三维电动移动装置。

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