[发明专利]一种可旋转可移动靶架传动装置在审
| 申请号： | 201710603757.3 | 申请日： | 2017-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN109280880A | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 王静辉;张小飞 | 申请（专利权）人： | 杰莱特（苏州）精密仪器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 靶架 可旋转 传动装置 旋转电机 移动电机 支架 超高真空状态 传动技术领域 传动装置结构 光学监控系统 可编程控制 装置配合 左右移动 均匀性 离子源 真空箱 移动 导轨 镀膜 膜厚 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种可旋转可移动靶架传动装置，包括靶架移动电机（1）、支架（6）、导轨（7）、靶架旋转电机（8）和真空箱（11），其特征在于：所述支架（6）上设有靶架（3），所述靶架（3）上设有蜗轮蜗杆机构（4），所述支架（6）的底部设有转轮（9），所述导轨（7）固定在真空箱（11）的底部，所述支架（6）设置在真空箱（11）的内部，所述靶架移动电机（1）和靶架旋转电机（8）设置在真空箱（11）的外部，所述靶架移动电机（1）和支架（6）之间设有丝杠传动机构（2），所述靶架移动电机（1）能够通过丝杠传动机构（2）带动支架（6）底部的转轮（9）沿着导轨（7）转动，所述蜗轮蜗杆机构（4）和靶架旋转电机（8）之间设有万向联轴节（5），所述靶架旋转电机（8）能够通过蜗轮蜗杆机构（4）和万向联轴节（5）带动靶架（3）旋转。
2.根据权利要求1所述的一种可旋转可移动靶架传动装置，其特征在于：所述丝杠传动机构（2）和万向联轴节（5）设置在真空箱（11）的内部。
3.根据权利要求2所述的一种可旋转可移动靶架传动装置，其特征在于：所述导轨（7）的两端设有挡板（10）。
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