[发明专利]一种强结合碳化硅过滤膜制备方法

权利要求书

1.一种强结合碳化硅过滤膜制备方法，其特征在于，包括以下顺序步骤：

（1）将粒径为50nm~5um的碳化硅粉末、无水乙醇、金属盐化物混合配制成电泳悬浮液，碳化硅溶度为1~10g/L；

（2）将配好的电泳悬浮液超声分散10~30min；

（3）将预制支撑体放入电泳悬浮液中，正极电极材料环绕置于预制支撑体的外围，与预制支撑体中心轴线间距为1~2cm，负极接在预制支撑体上表面，电泳沉积电压50~300V，沉积时间为1~10min，电极材料选择紫铜，不锈钢，镍，钛、铂其中一种单独使用或是混合使用；

（4）将步骤（3）中电泳沉积好的预制支撑体置于鼓风烘箱中，100~120℃烘干30~60min；

（5）烘干后，放入真空沉积炉中，升温至900~1200℃，升温速率为5~10℃/min；

（6）以三氯甲基硅烷为碳化硅气源，氢气作为反应载气，氩气作为稀释气体，化学气相沉积碳化硅涂层，三氯甲基硅烷流量为30~50ml/min，氢气流量为300~350ml/min，氩气流量为250~300ml/min，沉积时间为10~30h；

（7）气相沉积结束后，随炉冷却至室温，取出后，得到一种强结合碳化硅过滤膜。