[发明专利]电子枪专用多工位预处理装置

权利要求书

1.一种电子枪专用多工位预处理装置，其特征在于：该装置包括电子枪主体存放管道(3)、电子枪变径接口(4)、左端变径法兰(2)和右端变径法兰(7)、超高真空阀(1)和超高真空挡板阀(5)还有超高真空插板阀(6)、离子泵(8)、支撑平台(9)；所述电子枪主体存放管道(3)的右端设置有超高真空插板阀(6)和右端变径法兰(7)，与离子泵(8)对接；所述电子枪主体存放管道(3)的左端设置有左端变径法兰(2)，与超高真空阀(1)对接；所述电子枪主体存放管道(3)壁上设置有多个电子枪变径接口(4)；所述支撑平台(9)用于安放、固定上述装置。

2.如权利要求1所述的电子枪专用多工位预处理装置，其特征在于：所述电子枪主体存放管道(3)壁上均匀设置2-10个电子枪变径接口(4)。

3.如权利要求1所述的电子枪专用多工位预处理装置，其特征在于：在所述电子枪主体存放管道(3)基础上，以相似的结构作为电子枪主体存放延长管，顺序对接，使电子枪变径接口(4)随之增多。

4.如权利要求1所述的电子枪专用多工位预处理装置，其特征在于：所述电子枪主体存放管道(3)表面有一个开口焊接一个标准刀口法兰用来安装冷规(11)。

5.如权利要求1所述的电子枪专用多工位预处理装置，其特征在于：所述电子枪变径接口(4)与电子枪主体存放管道(3)之间设置有超高真空挡板阀(5)。

6.如权利要求1所述的电子枪专用多工位预处理装置，其特征在于：所述电子枪变径接口(4)为变径法兰接头，变径范围CF35-CF150。