[发明专利]阴极结构及包含此阴极结构的离子化金属等离子装置在审
| 申请号： | 201710604688.8 | 申请日： | 2017-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN109300761A | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 江浩宁;庄凱富;洪祥堡;郭俨颉;高铭祥;庄铭德 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阴极结构 等离子装置 固定部 实心部 容置部 离子化金属 固定阴极 连接曲面 阴极灯丝 地连接 容置 配置 | ||
1.一种阴极结构，适用于一等离子装置，其特征在于，该阴极结构包含：
一曲面实心部，包含：一底表面；以及一顶曲面，其中该顶曲面的一周缘完全地连接该底表面的一周缘，且该顶曲面的表面积与该底表面的表面积的比值为1.1至10；
一固定部，配置以固定该阴极结构于该等离子装置上；以及
一容置部，配置以容置该等离子装置的一阴极灯丝，其中该容置部是设置于该曲面实心部及该固定部之间，且该容置部连接该底表面及该固定部。
2.根据权利要求1所述的阴极结构，其特征在于，该曲面实心部是由一导电材料所制作。
3.根据权利要求1所述的阴极结构，其特征在于，该底表面是平面。
4.根据权利要求1所述的阴极结构，其特征在于，该底表面平行于该顶曲面。
5.根据权利要求1所述的阴极结构，其特征在于，该顶曲面是一变曲率表面。
6.根据权利要求1所述的阴极结构，其特征在于，该容置部为一圆柱壳体，且该圆柱壳体的一外周缘与该底表面的该周缘相等。
7.一种离子化金属等离子装置，其特征在于，该离子化金属等离子装置包含：
一腔体，具有多个气体导入孔；
一阴极，固设于该腔体的一侧壁上，其中该阴极包含：
一固定部，固定于该侧壁上；
一曲面实心部，位于该腔体中，且该曲面实心部包含：一底表面；以及一顶曲面，其中该顶曲面的一周缘完全地连接该底表面的一周缘；以及
一容置部，设置于该固定部及该曲面实心部之间，并连接该固定部及该底表面，其中该曲面实心部、该容置部及该腔体的该侧壁形成一密闭容置空间；
一阴极灯丝，固设于该侧壁上，并位于该密闭容置空间中，其中该阴极灯丝与该底表面的距离为0.5毫米至2毫米；以及
一电源模块，分别电性连接该腔体、该曲面实心部及该阴极灯丝，以于该腔体、该曲面实心部及该阴极灯丝之间形成电位差。
8.根据权利要求7所述的离子化金属等离子装置，其特征在于，该曲面实心部是由一导电材料所制作。
9.根据权利要求7所述的离子化金属等离子装置，其特征在于，该底表面是平面。
10.根据权利要求7所述的离子化金属等离子装置，其特征在于，该顶曲面是一变曲率表面。
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