[发明专利]一种直板型实用化射频MEMS开关

权利要求书

1.一种直板型实用化射频MEMS开关，其特征在于，所述开关包括：

衬底，所述衬底为表面具有微波传输线的的基座承载体；

上电极，所述上电极为长方形结构，所述上电极固定端通过固定锚点固定在微波传输线上，所述上电极中部及另一端延伸于所述衬底水平上方；

下电极，所述下电极上表面设置有单触点，所述单触点置于所述上电极的另一端下方，所述单触点形状包括但不限于长方体、半球体或圆锥体；

驱动电极，所述驱动电极设置在衬底上表面中心处，所述驱动电极置于所述上电极下方，所述上电极对应所述驱动电极的位置处开设有释放孔阵列；

所述上电极通过固定锚点固定在微波传输线上，下电极通过信号线固定在所述衬底上。

2.根据权利要求1所述的一种直板型实用化射频MEMS开关，其特征在于，所述释放孔阵列包括多个呈阵列状布置的释放孔；

所述释放孔阵列包括3-4排，按照所述信号线的长度方向排列，任意一排的释放孔数量为6-10个；

所述释放孔直径大小为6-10μm，每排或每列任意相邻的两个释放孔之间间距为10-20μm。

3.根据权利要求1所述的一种直板型实用化射频MEMS开关，其特征在于，所述上、下电极的一侧设置有空气桥；

所述空气桥两端分别连接有地线。

4.根据权利要求3所述的一种直板型实用化射频MEMS开关，其特征在于，所述上、下电极的另一侧设置有另一地线。

5.根据权利要求3所述的一种直板型实用化射频MEMS开关，其特征在于，所述空气桥及上电极固定端均通过所述固定锚点设置在微波传输线上。

6.根据权利要求1所述的一种直板型实用化射频MEMS开关，其特征在于，所述衬底的材料为玻璃、陶瓷和高阻硅。

7.根据权利要求1所述的一种直板型实用化射频MEMS开关，其特征在于，所述信号线接近所述驱动电极一端平齐延伸出所述下电极，所述下电极朝向所述上电极表面固定设置所述单触点。

8.根据权利要求3或4之一所述的一种直板型实用化射频MEMS开关，其特征在于，所述信号线、地线均为长方体，并两条所述地线等距分别设置在所述信号线的两侧。

9.根据权利要求5所述的一种直板型实用化射频MEMS开关，其特征在于，在所述地线与所述驱动电极距离最短的位置处设置所述空气桥。