[发明专利]一种大幅面板材激光蚀刻机

权利要求书

1.一种大幅面板材激光蚀刻机，其特征在于，包括：

机架，所述机架包括底座、通过立柱支撑在所述底座上方的横梁；

可滑动地设置在所述底座上的工作平台以及用于驱动所述工作平台滑动的第一驱动装置；

可滑动地设置在所述横梁上的激光器座以及用于驱动所述激光器座滑动的第二驱动装置；

通过升降驱动装置设置在所述激光器座上的激光器系统；

所述工作平台的滑动方向与x轴垂直，所述激光器座的滑动方向与y轴相垂直，所述升降驱动装置的驱动方向与z轴相平行，且所述工作平台的滑动方向和所述激光器座的滑动方向都位于xy平面内。

2.如权利要求1所述的大幅面板材激光蚀刻机，其特征在于，所述第一驱动装置包括直线电机和由直线电机驱动的滑动平台，所述工作平台设置在所述滑动平台上。

3.如权利要求2所述的大幅面板材激光蚀刻机，其特征在于，所述工作平台上分布有多个用于吸附待加工件的通孔，所述通孔与真空源连接。

4.如权利要求1所述的大幅面板材激光蚀刻机，其特征在于，所述第二驱动装置包括直线电机。

5.如权利要求1所述的大幅面板材激光蚀刻机，其特征在于，还包括设置在所述激光器系统的下端的除尘罩。

6.如权利要求1-5任一项所述的大幅面板材激光蚀刻机，其特征在于，还包括：

用于检测所述激光器系统和所述工作平台位置的光栅检测系统；

用于控制所述第一驱动装置、第二驱动装置及所述升降驱动装置的控制系统，所述控制系统与所述光栅检测系统可通信地相连接。

7.如权利要求1所述的大幅面板材激光蚀刻机，其特征在于，所述工作平台的长度为2米，宽度为1.5米。

8.如权利要求1所述的大幅面板材激光蚀刻机，其特征在于，所述机架的底端设有重载脚杯。