[发明专利]一种球形掺硼金刚石膜电极的制备方法有效
| 申请号： | 201710607466.1 | 申请日： | 2017-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN107589168B | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 芶立;李凡 | 申请（专利权）人： | 四川大学 |
| 主分类号： | G01N27/48 | 分类号： | G01N27/48;G01N27/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610065 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 球形 金刚石 电极 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种球形掺硼金刚石膜电极的制备方法，其特征在于：
（1）采用化学气相沉积法在金属球上一部分表面沉积一层掺硼金刚石膜，另一部分依旧裸露金属的表面，然后将裸露部分进行封装，通过控制掺硼金刚石膜裸露面积至直径150μm以下，得到球形微电极；
（2）金属球预处理时，采用微米级金刚石粉溶液进行超声处理，再分别采用乙醇和丙酮溶液超声清洗，烘干待用；碳化钨球在预处理前，先采用体积比为HNO3:H2O=1:1硝酸溶液浸泡5分钟；
（3）采用微波等离子体化学气相沉积法，将预处理后的金属球连同基台一同放入反应腔体中，对反应腔体抽真空至反应条件，开启微波源；反应气氛为甲烷、氢气用于制备金刚石膜的常用气体；腔体压力控制在3~6.5kPa，反应温度控制在600~1000℃，微波源输出功率为800W~2000W；携带气体采用H2，通过H2鼓泡携带溶解在有机溶剂中的硼源，硼碳比为1:50至1:300。
2.按照权利要求 1 所述一种球形掺硼金刚石膜电极的制备方法，其特征在于导电衬底金属球为钼球或碳化钨球中任意一种。
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