[发明专利]高精度光学波长参考标准具

权利要求书

1.一种高精度光学波长参考标准具，其特征在于，包括：

法布里-珀罗谐振腔，包括相对设置且高度平行的第一光学反射镜和第二光学反射镜；

光学补偿片，设置于所述法布里-珀罗谐振腔内，所述光学补偿片包括光学平行平板和支撑所述光学平行平板的双材料悬臂梁，所述双材料悬臂梁包括悬臂梁主体及覆盖于所述悬臂梁主体上的薄膜层，所述悬臂梁主体与所述薄膜层具有不同的热膨胀系数，在温度变化时能够改变所述光学补偿片的法线与所述光学波长参考标准具的光轴之间的夹角，以补偿由于腔长发生变化而带来的透射波长偏差；

所述双材料悬臂梁包括第一双材料悬臂梁和第二双材料悬臂梁，所述第一双材料悬臂梁和所述第二双材料悬臂梁对称分布于所述光学平行平板的两侧；所述第一双材料悬臂梁包括第一悬臂梁主体和覆盖于所述第一悬臂梁主体上的第一薄膜层，所述第一悬臂梁主体与所述第一薄膜层具有不同的热膨胀系数；所述第二双材料悬臂梁包括第二悬臂梁主体和覆盖于所述第二悬臂梁主体上的第二薄膜层，所述第二悬臂梁主体与所述第二薄膜层具有不同的热膨胀系数；所述第一双材料悬臂梁和所述第二双材料悬臂梁随温度变化的形变方向相反。

2.根据权利要求1所述的高精度光学波长参考标准具，其特征在于，所述第一悬臂梁主体和所述第二悬臂梁主体均由单晶硅构成，所述第一薄膜层为二氧化硅薄膜，所述第二薄膜层为铝薄膜。

3.根据权利要求1所述的高精度光学波长参考标准具，其特征在于，所述光学补偿片的法线与所述光学波长参考标准具的光轴之间具有一初始偏置角，所述初始偏置角用于补偿所述光学波长参考标准具的透射峰波长与设计值的偏差。

4.根据权利要求1所述的高精度光学波长参考标准具，其特征在于，所述第一光学反射镜靠近所述第二光学反射镜的一侧镀制有图案化的第一光学反射膜、远离所述第二光学反射镜的一侧镀制有第一光学增透膜；所述第二光学反射镜靠近所述第一光学反射镜的一侧镀制有图案化的第二光学反射膜、远离所述第一光学反射镜的一侧镀制有第二光学增透膜。

5.根据权利要求1所述的光学波长参考标准具，其特征在于，所述光学平行平板的相对两侧均镀制有光学增透膜。