[发明专利]OLED面板的制作方法、临时配对结构有效
申请号: | 201710611018.9 | 申请日: | 2017-07-25 |
公开(公告)号: | CN109300935B | 公开(公告)日: | 2020-10-23 |
发明(设计)人: | 孔杰;居宇涵 | 申请(专利权)人: | 合肥视涯技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/00;H01L51/56;H01L21/68;C23C14/04 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 230012 安徽省合肥*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | oled 面板 制作方法 临时 配对 结构 | ||
一种OLED面板的制作方法、临时配对结构,所述临时配对结构包括:基板,位于在所述基板的围堰区域部分表面上的若干交替分布并环绕像素区域第一围堰结构、第二围堰结构和第三围堰结构;蒸镀荫罩,包括:衬底;位于衬底正面上的格栅膜层,格栅膜层中具有若干阵列排布的开口;位于衬底中贯穿衬底厚度的凹槽,凹槽暴露出格栅膜层中的若干开口和相邻开口之间的格栅膜层;基板倒装在蒸镀荫罩的正面上,使得基板上的围堰结构与蒸镀荫罩接触;在第一围堰结构、第二围堰结构和第三围堰结构中的其中一个围堰结构外侧的基板和蒸镀荫罩之间形成的UV胶,UV胶使得基板与蒸镀荫罩键合在一起。本发明的结构提高了OLED面板的制作效率。
技术领域
本发明涉及OLED制作领域,特别涉及一种OLED面板的制作方法、临时配对结构。
背景技术
有机电致发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)显示面板同时具备自发光(不需背光源)、对比度高、厚度薄、视角广、反应速度快、可用于挠曲性面板、使用温度范围广和构造及制程较简单等优点,越来越受到业界青睐。
OLED显示面板最初的彩色方案是制作显示白光的显示单元,然后再配合使用相应的彩色滤光片。这种技术方案这种技术方案需要引入彩色滤光片,由于彩色滤光片的遮挡使得约80%的显示子像素出光损耗在彩色滤光片中,使得OLED显示面板的发光功耗和亮度性能逐渐无法满足对微显示可穿戴应用的需求。此外,这种技术方案中,无法单独调制不同波长红绿蓝三种子像素的微腔腔长,而彩色滤光片的可选择性变小,因此,相应OLED显示面板的视角色偏、动静态对比度和色域广度等显示主要性能皆有较大幅度下降。
为此,业界提出直接形成三原色子像素的技术方案。这种技术方案由于不需要彩色滤光片,因此,各个子像素的出光损耗小,OLED显示面板的发光功耗和亮度性能优越。并且,这种OLED显示面板可以单独调制不同波长红绿蓝三种子像素的微腔,因此,相应OLED显示面板的大视角色偏、动静态对比度、色域广度等显示主要性能优越。
直接形成三原色子像素的技术方案在OLED显示面板生产过程中,最重要的过程之一是将有机层(发光材料)按照驱动矩阵的要求蒸镀到基板上,形成各个发光显示单元等结构。这个过程中,需要使用到金属荫罩(或掩膜)和蒸镀源,现有的金属荫罩采用因瓦合金制作,在进行蒸镀时,将金属荫罩与基板进行对位后,然后利用磁板透过基板,磁板产生的磁力将金属荫罩吸附在基板的表面,然后进行蒸镀过程。
磁力吸附的方法只适用于金属荫罩,对于其他材料(比如非金属材料)制作的荫罩,现有的磁力吸附的方法已不能满足需求。
发明内容
本发明解决的问题是在OLED制作工艺中,怎样实现非金属材料的荫罩与基板的高精度配对。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的