[发明专利]一种真空设备门盖关闭自调节装置

说明书

本发明公开了一种真空设备上盖关闭自调节装置；其特征在于，它包括：铰链、铰链座、铰链上轴心杆、铰链下轴心杆、固定杆、左微调固定片、右微调固定片及微调片固定轴心杆；所述铰链利用铰链下轴心杆固定在铰链座上，铰链上轴心固定动力来源；例如油压杆，铰链与固定杆以螺丝固定，左微调片及右微调片以插销方式固定在铰链上，微调片固定轴心固定微调片及固定杆，形成可前后摆动的状态；固定杆下方可锁固需上下移动部件；例如上盖。通过这样的结构可以使上盖在闭合时能自动调节前后位置，可以紧密及准确盖在腔室上，不会产生翘曲或闭合不紧的现象。

技术领域

技术领域本发明涉及真空封合领域，特别是涉及一种真空设备上盖关闭自调节装置。

背景技术

真空镀膜设备上盖开盖机构大都有两种设置；一种不做任何机构，客户端设置行车，使用行车吊挂，但会增加客户厂房建置的成本；另一种是设置上盖上掀机构，采用电动缸或液压缸来做动力来源，通过铰链连接到上盖，将上盖打开至设定位置，但是于上盖闭合时，前后两端因为角度差异及先后接触的顺序问题容易造成后端已接触腔壁，前端尚未接触且因铰链连接上盖位置为固定不可活动支点，导致前或后端与腔体不接触，关门失效。导致这种异常由于实际组装误差或设备部件规格及位置与设计存在不一致造成的。于是需要不定时调整机构位置；于是本创作鉴于现有电动缸或液压缸上掀动作上有上述诸多缺失，乃藉其多年于相关领域的制造及设计经验和知识的辅佐，并经多方巧思，针对现有传送动作更新的研发，而研创出本创作。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种真空设备上盖关闭自调节装置，使其能够解决真空腔体上盖关闭时前或后端与腔体不接触，关门失效，导致真空抽气无法进行。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种一种真空设备上盖关闭自调节装置；其特征在于，它包括：铰链、铰链上轴心杆、铰链座、铰链下轴心杆、右微调固定片、固定杆、左微调固定片及微调片固定轴心杆；所述铰链利用铰链下轴心杆固定在铰链座上，铰链上轴心固定动力来源；例如油压杆，铰链与固定杆以螺丝固定，左微调片及右微调片以插销方式固定在铰链上，微调片固定轴心固定微调片及固定杆，形成可前后摆动的状态；固定杆下方可锁固需上下移动部件，所述左右微调片于上盖闭合时，若后端先行接触腔壁，则导致左右微调片绕着微调片固定轴心向前有角度的转动，进而使上盖前后端达到一定的平行度平衡状态，史上盖能水平方式闭合，不会产生关门失效。对于后续使用的可靠度相当高，大幅减少对关门机构的维护调整工作，大幅减少设备故障停机时间。

本发明的有益效果是：

1. 本发明结构简单，完全不需电力或气动元件来维持上盖平行度。

2. 本发明利用左右微调片的转动来达到上盖闭合时的前后平行度，不致使关门失效。

在一个实例中，真空腔体上盖由左右两边的铰链完成开启及闭合工作，铰链上轴心杆连接液压缸，铰链固定在铰链座上，铰链固定杆与上盖连接在一起，左微调片、右微调片与固定杆利用微调片固定轴心固定，使上盖前后端能做平行度调整以达到自我调整的目的。

附图说明

图1是本发明结构示意图；

图2是本发明应用实例示意图

主要元件符号说明 10……………… 自调节装置

11………………. 铰链 12……………… 铰链上轴心杆 13………………. 铰链座14………………. 铰链下轴心杆 15………………. 右微调固定片 16………………. 固定杆 17………………. 左微调固定片 18……………..... 微调片固定轴心杆21……………… 腔体上盖 。

具体实施方式