[发明专利]电子束控制装置和方法、电子束成像模块、电子束检测设备

权利要求书

1.一种用于对入射的电子束的尺寸进行调节的电子束控制装置，包括光阑件，所述光阑件具备间隔开布置的多个光阑孔，其中，

所述多个光阑孔布置成每个光阑孔定位于所述光阑件上的与所需电子束的半张角对应的位置处，所述半张角由所需的电子束尺寸确定，并且每个光阑孔的大小被确定成足以通过具备对应尺寸的所述电子束，由此入射的电子束的尺寸能够通过所述电子束移位至所述多个光阑孔中的选定光阑孔来调节；以及

所述多个光阑孔分布于所述光阑件上呈环绕式布置二维图案，且在所述二维图案中，电子束能够以直线的或平滑曲线的路径直接地在任两个光阑孔之间移位、而不经过其它光阑孔。

2.根据权利要求1所述的电子束控制装置，其中，所述入射的电子束和所述光阑件之一能够移动，使得所述电子束移位至所述选定光阑孔，并且

所述选定光阑孔是基于根据所需视场大小而确定的电子束的尺寸来选定的。

3.根据权利要求1所述的电子束控制装置，其中，呈二维图案的所述多个光阑孔包括：

第一光阑孔，所述第一光阑孔的位置基于所述电子束的最小尺寸而确定，且所述第一光阑孔的大小被确定为足以通过具备最小尺寸的所述电子束；和

围绕所述第一光阑孔分布的其它光阑孔。

4.根据权利要求3所述的电子束控制装置，其中，所述第一光阑孔布置于所述光阑件的中心处。

5.根据权利要求3所述的电子束控制装置，其中，在呈环绕式布置的二维图案中，所述其它光阑孔被布置成以一个或更多个环形而围绕所述第一光阑孔分布。

6.根据权利要求2所述的电子束控制装置，还包括：

移位件，被配置用于移动所述入射的电子束和所述光阑件之一，和

控制电路，配置成与移位件成电联通以控制所述移位件使得所述电子束通过所述多个光阑孔中的选定光阑孔。

7.根据权利要求6所述的电子束控制装置，所述控制电路还包括输入装置，所述输入装置被配置用于输入所需视场的像素尺寸，以及进一步用以根据输入的像素尺寸确定选定光阑孔。

8.根据权利要求6所述的电子束控制装置，其中，所述光阑件被构造成在与电子束的入射时的光轴垂直的平面上可移动地布置的可动式多孔光阑板，以使得投射到其上的电子束通过多个光阑孔中的选定光阑孔。

9.根据权利要求8所述的电子束控制装置，其中，所述移位件包括适于在真空和/或超净环境中移动所述可动式多孔光阑板的位移装置。

10.根据权利要求9所述的电子束控制装置，其中，所述位移装置包括：

驱动器，包括气动驱动器、手动驱动装置和电机中的至少一个，所述驱动器被布置于所述真空和/或超净环境之外，并且被配置成产生驱动动作；和

运动馈入装置，所述运动馈入装置被设置成在所述驱动器与所述可动式多孔光阑板之间成运动联接，且被配置成将由所述驱动器所输出的驱动动作传动和/或转换为直接地作用于所述可动式多孔光阑板上的致动动作以使得所述可动式多孔光阑板移位，且所述致动动作与所述电子束在所述多个光阑孔之中切换的速度同步。

11.根据权利要求9所述的电子束控制装置，其中，所述位移装置是压电式位移装置，包括：

驱动电路，所述驱动电路布置于所述真空和/或超净环境之中或之外，并且被配置成产生驱动电信号；和

压电式致动器，所述压电式致动器被布置于所述真空和/或超净环境中，且被设置成与所述驱动电路成电联通以接收所述驱动电信号并且输出直接地作用于所述可动式多孔光阑板上的致动动作以使得所述可动式多孔光阑板移位，且所述致动动作与所述电子束在所述多个光阑孔之中切换的速度同步。

12.根据权利要求1所述的电子束控制装置，其中，所述光阑件被构造成在与电子束的入射时的光轴垂直的平面上的固定式多孔光阑板。