[发明专利]采用多束超快激光减小切割锥度提升切割速度的方法

权利要求书

1.一种采用多束超快激光减小切割锥度和提升切割速度的方法，其特征在于，所述方法步骤如下：

1)将一束激光分为将一束激光分为至少两束激光束；

2)将分成至少两束的激光束经过聚焦透镜聚焦在样品表面，形成多个排列的焦点。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述焦点之间的距离是所述焦点所形成的光斑的直径的1-10倍。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述方法中的所述激光的脉冲宽度要在300飞秒到50皮秒。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述激光束相对于所述样品表面呈90度垂直。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述激光束沿着X方向，切割方向可沿着X正向或负向进行。

6.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述激光束沿X方向，切割方向可沿着Y正向或负向进行切割。

7.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述激光束沿着X方向，切割方向可沿着XY之间任意角度正向或负向进行切割。

8.如权利要求1-7任一项所述的方法，其特征在于，所述步骤1)将所述激光分成激光束的仪器为衍射光学器件。

9.如权利要求1-7任一项所述的方法，其特征在于，所述步骤1)将所述激光分成激光束的仪器为微透镜列阵。