[发明专利]一种绿色固定磨料抛光片及其制备方法

说明书

技术领域

本发明属于精密加工领域，涉及固定磨料抛光片，特别涉及一种绿色固定磨料抛光片及其制备方法。

背景技术

目前，各种微电子基板材料(如Si、SiC、玻璃等材料的基板)，固定磨料绝缘膜及微电子元器件的超精密加工需要进行抛光处理以便保证使用其精度，且处理普遍采用游离磨料抛光液。但是，游离磨料抛光液在使用后产生废液，废液会造成环境污染问题，需要进行后期处理，而且抛光液适用于大面积电器元件的抛光处理。

对于处理面较小的微电子元器件，比如光纤连接头的抛光处理，使用抛光液不仅存在污染问题，且抛光液容易浪费，抛光效果不佳。

固定磨料抛光片是最容易实现小面积超精密抛光加工的工具，现有的固定磨料抛光片主要由抛光片基层及固定于基层上的固定磨料组成，固定磨料在基层上的涂覆均匀度直接影响抛光片的抛光效果，因此需要添加粘结剂来改善固定磨料的涂覆均匀度，处于安全环保的角度，粘结剂的选择也需要绿色环保，制备一种绿色固定磨料抛光片非常有必要。

通过对公开专利文献的检索，并未发现与本专利申请相同或相似的公开专利文献。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足，提供一种采用纳米级固定磨料及绿色粘结剂的固定磨料抛光片，聚酮树脂能够降低淀粉的水溶性，增强其粘性；淀粉能够缓解聚酮树脂在水中的硬化，二者相互作用能够增强固定磨料的粘结性能，保证其在基层上的涂覆均匀度，保证表面加工质量，提高工作效率，且绿色环保无污染。

本发明的目的还在于提供一种工艺参数可控，操作便捷能够保证抛光效果的绿色固定磨料抛光片制备方法。

本发明解决其技术问题是通过以下技术方案实现的：

一种绿色固定磨料抛光片，其特征在于：由基层及涂覆层组成，所述基层为PET 膜，

所述涂覆层的组份及其重量百分比为：

固定磨料20～50wt％

淀粉25～40wt％

聚酮树脂25～40wt％。

而且，所述PET膜的厚度为60～80um。

而且，所述涂覆层的厚度为60～200um。

而且，所述固定磨料为氧化硅、氧化铝、氧化铈或多晶金刚石。

而且，所述固定磨料的粒径为0.1nm～100um。

而且，所述淀粉为GB/T20887-2009谷类淀粉中的玉米淀粉或糯米淀粉。

一种绿色固定磨料抛光片的制备方法，其特征在于：所述制备方法的步骤为：

(1)称重：根据所述重量百分比称量固定磨料、淀粉、聚酮树脂；

(2)涂覆液制备：将称量好的聚酮树脂、固定磨料及淀粉加入盛有无水乙醇的试管中，然后利用超声波振荡器进行均匀混合，使得聚酮树脂、固定磨料及淀粉均匀分散在无水乙醇中，制得涂覆液；

(3)涂覆层涂覆：在玻璃平板上平铺所述的PET膜，使用涂覆棒将制备好的涂覆液多次均匀涂覆在PET膜上，形成厚度为60～200um的涂覆层；

(4)固化：在室温环境下待其固化后，形成抛光片。

本发明的优点和有益效果为：

1、本发明的固定磨料抛光片，由基层及涂覆层组成，涂覆层中使用聚酮树脂和淀粉作为固定磨料的粘结剂，淀粉易溶于水，单纯使用有困难，而聚酮树脂遇水易硬化，也不能直接使用，因此使用聚酮树脂能够降低淀粉的水溶性，增强其粘性；淀粉能够缓解聚酮树脂在水中的硬化，二者相互作用能够提高固定磨料的初粘性和持粘性，使其在基层PET膜上涂覆均匀，保证抛光效果，且涂覆层材料环保无污染。

2、本发明的固定磨料抛光片，固定磨料的粒径为0.1nm～100um，可以使纳米粒子不易陷入粘弹性材料的抛光片基层中，保证良好的表面光洁度的同时，充分发挥加工作用。

3、本发明的固定磨料抛光片，淀粉和聚酮树脂均作为绿色无污染的粘结剂，共同作用能够增强固定磨料的粘结性能和机械性，保证其在基层上的涂覆均匀度，保证表面加工质量，提高工作效率，且工艺参数可控，环保无污染，操作便捷能够保证抛光效果。

附图说明

图1(a)为涂覆层涂覆次数为一次的抛光片；

图1(b)为涂覆层涂覆次数为多次的抛光片；

图2(a)为未进行抛光处理的光纤连接头表面；

图2(b)为抛光处理后的光纤连接头表面；

图3(a)为固定磨料重量百分比为20wt％的抛光片；

图3(b)为固定磨料重量百分比为40wt％的抛光片。

具体实施方式