[发明专利]钕铁硼永磁防腐绝缘镀层的制备方法及具有该镀层的钕铁硼永磁体

权利要求书

1.一种钕铁硼永磁防腐绝缘镀层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

表面预处理：清洗半成品钕铁硼永磁体表面，去除污染物后烘干；

表面活化：将烘干的钕铁硼永磁体置于真空镀膜机的离子活化区，采用离子源对所述钕铁硼永磁体的表面进行活化处理；

真空镀膜：将活化后的钕铁硼永磁体移至真空镀膜机的真空镀膜区，在≤100℃下，采用真空磁控溅射方式在活化后的钕铁硼永磁体的表面依次沉积结合层、内保护层、过渡层和外保护层；所述结合层的厚度为10nm-1000nm，所述内保护层的厚度为1μm-10μm，所述过渡层的厚度为10nm-1000nm，所述外保护层的厚度为0.3μm-6μm；所述结合层的材料选自Al、Cr、Ti或不锈钢中的一种或多种；所述内保护层的材料选自Sn、Zn、Cu、Al、Si-Al、Zn-Al或Sn-Zn中的一种或多种；所述过渡层的材料选自Sn、Zn、Al、Si-Al、Zn-Al、Sn-Zn、SnO₂、ZnO或Al₂O₃中的一种或多种；所述外保护层的材料选自Al₂O₃、AlN、Cr₂O₃、TiO₂、SiO₂、Si₃N₄、TiN或CrN中的一种或多种。

2.根据权利要求1所述的钕铁硼永磁防腐绝缘镀层的制备方法，其特征在于，在所述表面预处理步骤中，清洗半成品钕铁硼永磁体表面的具体步骤包括：将半成品钕铁硼永磁体置于清洗液中清洗；清洗完毕后取出，采用去离子水漂洗；漂洗后取出，置于超声清洗机中超声清洗；超声清洗后取出，采用去离子水进行二次漂洗。

3.根据权利要求2所述的钕铁硼永磁防腐绝缘镀层的制备方法，其特征在于，所述清洗液的组成为：碳酸钠5g/L-10g/L，无水氧化钙15g/L-20g/L，氢氧化钠10g/L-40g/L，溶剂为水；所述超声清洗时间为0.5min-5min。

4.根据权利要求1所述的钕铁硼永磁防腐绝缘镀层的制备方法，其特征在于：在所述表面活化步骤中，所述离子活化区的真空度为0.05Pa-3Pa，所述离子源的功率为3kW-7kW，活化时间为0.5min-3min。

5.一种表面具有防腐绝缘镀层的钕铁硼永磁体，其特征在于：所述防腐绝缘镀层采用如权利要求1-4任一项所述的制备方法制备获得。