[发明专利]脉冲宽度控制器

权利要求书

1.一种光学装置，包括：

第一转动式波片，所述第一转动式波片具有光轴；

偏振分束器，所述偏振分束器具有透射轴，所述透射轴大致平行于所述第一转动式波片的所述光轴；

第一反射器，所述第一反射器沿着所述透射轴定位以使第一偏转电磁辐射沿着第一偏转轴传播；及

第二反射器，所述第二反射器被定位以接收来自所述第一反射器的电磁辐射，且所述第二反射器使返回电磁辐射传播至所述偏振分束器。

2.如权利要求1所述的光学装置，进一步包括第二转动式波片，所述第二转动式波片具有光轴，所述光轴大致平行于所述偏振分束器的反射轴，其中所述第二反射器被定位以使所述返回电磁辐射沿着所述偏振分束器的所述反射轴传播。

3.如权利要求1所述的光学装置，进一步包括第三反射器，所述第三反射器沿着所述第一偏转轴定位，且所述第三反射器面向第二偏转轴，且所述第二反射器沿着所述第二偏转轴定位。

4.如权利要求2所述的光学装置，进一步包括第一致动器、第二致动器及控制器，所述第一致动器耦接至所述第一转动式波片，所述第二致动器耦接至所述第二转动式波片，所述控制器耦接至所述第一致动器和所述第二致动器。

5.如权利要求2所述的光学装置，进一步包括第二偏振分束器，所述第二偏振分束器沿着所述第一偏转轴定位，所述第二偏振分束器具有第二反射轴和第二透射轴，其中所述第二反射器沿着所述第二反射轴定位。

6.如权利要求5所述的光学装置，进一步包括第三波片、多个反射器及第四波片，所述第三波片定位于所述第一反射器与所述第二偏振分束器之间，所述多个反射器沿着所述第二透射轴接收透射电磁辐射，且所述多个反射器沿着线路引导所述透射电磁辐射，所述第四波片定位于所述线路中以接收所述透射电磁辐射并使第二返回电磁辐射沿着所述第二反射轴传播。

7.一种用于处理基板的系统，所述系统包括：

电磁能源；

光学系统，所述光学系统用于聚焦所述电磁能；及

脉冲宽度控制器，所述脉冲宽度控制器光学耦合至所述电磁能源和所述光学系统，所述脉冲宽度控制器包括：

第一转动式波片，所述第一转动式波片具有光轴；

偏振分束器，所述偏振分束器具有透射轴，所述透射轴大致平行于所述第一转动式波片的所述光轴；

第一反射器，所述第一反射器沿着所述透射轴定位以使第一偏转电磁辐射沿着第一偏转轴传播；及

第二反射器，所述第二反射器被定位以接收来自所述第一反射器的电磁辐射，且所述第二反射器使返回电磁辐射传播至所述偏振分束器。

8.如权利要求7所述的系统，进一步包括第二波片，所述第二波片具有光轴，所述第二波片的光轴大致平行于所述偏振分束器的反射轴，其中所述第二反射器被定位以使所述返回电磁辐射沿着所述偏振分束器的所述反射轴传播。

9.如权利要求8所述的系统，其中所述第二波片设置于光路内，所述光路被定向以接收来自所述偏振分束器的电磁辐射，并使电磁辐射传播至所述偏振分束器。

10.如权利要求9所述的系统，其中所述电磁能源包括两个或更多个激光器。

11.如权利要求10所述的系统，其中所述脉冲宽度控制器进一步包括第一致动器和第二致动器，所述第一致动器耦接至所述第一转动式波片，所述第二致动器耦接至所述第二转动式波片，且所述系统进一步包括控制器，所述控制器耦接至所述第一致动器和所述第二致动器。

12.如权利要求11所述的系统，其中所述光路进一步包括第二偏振分束器。

13.如权利要求9所述的系统，其中所述第一转动式波片被定位以传送偏振辐射至所述偏振分束器。