[发明专利]一种双带宽的超导纳米线单光子探测器有效
| 申请号： | 201710621411.6 | 申请日： | 2017-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN107564990B | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 金飚兵;韩诗颖;郑帆;朱广浩;康琳;许伟伟;陈健;吴培亨 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | H01L31/09 | 分类号： | H01L31/09;H01L31/0232;G01J11/00;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 江苏银创律师事务所 32242 | 代理人： | 孙计良 |
| 地址： | 210001 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 带宽 导纳 米线 光子 探测器 | ||
1.一种双带宽的超导纳米线单光子探测器，其特征在于，包括衬底(1)、第一布拉格反射镜(2)、二氧化硅层(4)、氮化铌纳米线(5)和第二布拉格反射镜(6)；第一布拉格反射镜(2)和第二布拉格反射镜(6)中均包含有若干个周期的周期性介质层，且第一布拉格反射镜(2)和第二布拉格反射镜(6)所包含的周期数不同；第一布拉格反射镜(2)设置在衬底(1)的上表面，二氧化硅层(4)设置在第一布拉格反射镜(2)的上面，氮化铌纳米线(5)设置在二氧化硅层(4)内部，第二布拉格反射镜(6)设置在二氧化硅层(4)的上表面；还包括用于调节第一布拉格反射镜(2)相位的硅层(3)；硅层(3)设置于第一布拉格反射镜(2)和二氧化硅层(4)之间。
2.如权利要求1所述的双带宽的超导纳米线单光子探测器，其特征在于，第一布拉格反射镜(2)由14个周期的周期性介质层所组成；第二布拉格反射镜(6)由3个周期的周期性介质层所组成。
3.如权利要求1所述的双带宽的超导纳米线单光子探测器，其特征在于，第一布拉格反射镜(2)的周期性介质层由两种不同材质的两个介质层叠加而成；所述两个介质层的两种材质分别为二氧化硅和五氧化二钽。
4.如权利要求1所述的双带宽的超导纳米线单光子探测器，其特征在于，第二布拉格反射镜(6)的周期性介质层由两种不同材质的两个介质层叠加而成；所述两个介质层的两种材质分别为二氧化硅和五氧化二钽。
5.如权利要求1所述的双带宽的超导纳米线单光子探测器，其特征在于，第一布拉格反射镜(2)的中心波长为1425nm-1445nm。
6.如权利要求1所述的双带宽的超导纳米线单光子探测器，其特征在于，第二布拉格反射镜(6)的中心波长为1440nm-1460nm。
7.如权利要求1所述的双带宽的超导纳米线单光子探测器，其特征在于，二氧化硅层(4)的厚度为415nm-425nm；氮化铌纳米线(5)的宽度为45nm-55nm，厚度为4nm-7nm，占空比为20%-30%。
8.如权利要求7所述的双带宽的超导纳米线单光子探测器，其特征在于，氮化铌纳米线(5)距离二氧化硅层(4)的下表面340nm-350nm。
9.如权利要求1所述的双带宽的超导纳米线单光子探测器，其特征在于，硅层(3)的厚度为70nm-80nm。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京大学，未经南京大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710621411.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
