[发明专利]物料输送通路、物料供给装置及晶体生长系统

权利要求书

1.物料输送通路，其特征在于，用于供物料在气密状态下从炉体(7)外部转移至炉体(7)内部，所述炉体(7)内具有用于盛接所述物料的坩埚(10)；所述物料输送通路包括投料通路(1)和喂料通路(3)，所述投料通路(1)设置在炉体(7)的内部并与所述坩埚(10)相对，所述喂料通路(3)可相对于所述投料通路(1)延伸或撤回，所述喂料通路(3)在延伸位置时穿过所述炉体(7)并与所述投料通路(1)相连通。

2.根据权利要求1所述的物料输送通路，其特征在于，所述炉体(7)内部还具有导流筒(8)，所述投料通路(1)设置在所述导流筒(8)的内侧、或插入所述导流筒(8)内部并贯穿所述导流筒(8)的侧壁，且延伸至所述坩埚(10)的上方。

3.根据权利要求1所述的物料输送通路，其特征在于，所述炉体(7)内部还具有导流筒(8)，所述投料通路(1)设置在所述导流筒(8)的外侧，且投料通路(1)中的物料经导流筒(8)外侧和所述坩埚(10)侧壁内侧之间的区域落入所述坩埚(10)中。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的物料输送通路，其特征在于，所述投料通路(1)包括相对的投料入口(104)和投料出口(105)，所述投料出口(105)靠近所述坩埚(10)，所述投料入口(104)处具有投料漏斗(103)，所述喂料通路(3)通过所述投料漏斗(103)与所述投料通路(1)对接。

5.根据权利要求4所述的物料输送通路，其特征在于，所述投料通路(1)的横向截面为椭圆形。

6.根据权利要求1所述的物料输送通路，其特征在于，所述炉体(7)上具有供所述喂料通路(3)穿过的开口(73)，所述开口(73)处设置用于保持炉体气密状态的隔离阀(9)，所述隔离阀(9)处于开启状态时，所述喂料通路(3)穿过所述开口(73)，所述喂料通路(3)撤回所述炉体(7)外时，所述隔离阀(9)关闭。

7.根据权利要求1所述的物料输送通路，其特征在于，所述炉体(7)与所述喂料通路(3)相连通，所述喂料通路(3)包括相对的上游端和下游端，所述上游端位于所述炉体(7)外部、且设置有隔离阀(9)，所述下游端在所述炉体(7)内部延伸或撤回，所述隔离阀(9)使得所述喂料通路(3)及炉体(7)保持气密状态。

8.根据权利要求6或7所述的物料输送通路，其特征在于，还包括喂料机构(2)，所述喂料机构(2)安装在所述炉体(7)的外部且与所述炉体(7)对接，所述喂料通路(3)在所述炉体(7)外部的部分收纳于所述喂料机构(2)中。

9.根据权利要求8所述的物料输送通路，其特征在于，所述喂料机构(2)与所述炉体(7)的开口(73)直接配合、或与安装在所述炉体(7)开口(73)处的隔离阀(9)配合。

10.根据权利要求9所述的物料输送通路，其特征在于，所述喂料机构(2)通过波纹管与所述炉体(7)上的所述开口(73)对接，或与所述炉体(7)的开口(73)处的隔离阀(9)对接。

11.根据权利要求8所述的物料输送通路，其特征在于，所述喂料机构(2)具有喂料提升装置(23)，所述喂料提升装置(23)用于实现所述喂料通路(3)相对于所述投料通路(1)的延伸或撤回。

12.根据权利要求11所述的物料输送通路，其特征在于，所述喂料通路(3)的外部设置喂料通路固定套(21)，所述喂料通路固定套(21)连接所述喂料提升装置(23)，所述喂料通路(3)与喂料通路固定套(21)随同所述喂料提升装置(23)移动。