[发明专利]表面与侧面介质光栅调制的大功率分布反馈半导体激光器有效
| 申请号： | 201710627764.7 | 申请日： | 2017-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN107482477B | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | 郝永芹;马晓辉;李杨;晏长岭;徐莉;冯源;谢检来;张昕;岳光礼;张晶;王志伟;王霞 | 申请（专利权）人： | 长春理工大学 |
| 主分类号： | H01S5/12 | 分类号： | H01S5/12;H01S5/22;H01S5/042 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙) 22210 | 代理人： | 陶尊新 |
| 地址： | 130000 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 表面 侧面 介质 光栅 调制 大功率 分布 反馈 半导体激光器 | ||
【权利要求书】：
1.一种表面与侧面介质光栅调制的大功率分布反馈半导体激光器，属于边发射LD，下电极(1)位于基条(2)下表面，脊条(3)位于基条(2)上表面，上电极(4)位于脊条(3)上表面，基条(2)自下而上包括衬底、N-限制层、N-波导层、有源区、P-波导层，脊条(3)自下而上包括P-限制层、重掺杂接触层，脊条(2)窄于基条(2)；其特征在于，脊条(3)属于宽条型，上电极(4)在脊条(3)长边方向上短于脊条(3)，在脊条(3)上表面两端刻蚀有表面介质光栅(7)，在脊条(3)两个侧面刻蚀有侧面介质光栅(8)。
2.根据权利要求1所述的表面与侧面介质光栅调制的大功率分布反馈半导体激光器，其特征在于，脊条宽度为100μm，脊条长度为1000μm；上电极(4)的长度为800μm。
3.根据权利要求1所述的表面与侧面介质光栅调制的大功率分布反馈半导体激光器，其特征在于，表面介质光栅(7)的光栅条纹横向分布，且与脊条(3)宽边方向平行；侧面介质光栅(8)的光栅条纹竖向分布。
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