[发明专利]自清洁的传输设备及其清洁方法、湿法设备

说明书

技术领域

本发明属于设备清洁技术领域，具体地讲，涉及一种自清洁的传输设备及其清洁方法、湿法设备。

背景技术

在液晶面板的生产过程中，通过清洗、涂布、曝光、显影等工序来实现三色基板的形成。显影机和清洗机等湿式设备存在清洗功能，以清洁基板正面和背面的有机物和颗粒(particle)。

然而当生产一段时间后，湿式设备的循环水中会溶解一部分的异物。当不进行生产时，为了节约水和电等资源，会间歇性地停止喷淋。当停止喷淋后，辊(roller)同时停止运转，残留的水分会在辊上挥发，水中溶解的异物会在辊上积攒凝固。当再次生产时喷淋开启无法将辊上的异物再次溶解，基板传送过该段辊后则会在基板背面产生严重的轮印，从而使后段的基板薄化不均匀，导致整张基板无法合格(NG)。在现有技术中，由于辊没有自动清洁的装置，所有只有靠定期的停机清洁，虽然可以起到洁净辊的作用，但是耗费的人力物力较大。

发明内容

为了解决上述现有技术存在的问题，本发明的目的在于提供一种能够节省人力物力的自清洁的传输设备及其清洁方法、湿法设备。

根据本发明的一方面，提供了一种自清洁的传输设备，其包括：多个转动装置以及多个清洁装置，所述多个转动装置沿第一方向排列设置，所述多个清洁装置沿第一方向排列设置，所述转动装置与所述清洁装置一一对应；当对所述转动装置进行清洁时，所述清洁装置与所述转动装置接触，所述转动装置进行转动，以使所述清洁装置对所述转动装置进行清洁。

进一步地，当对所述转动装置进行清洁时，所述清洁装置与所述转动装置接触，所述转动装置进行转动，同时所述清洁装置在所述第一方向上往复运动，以使所述清洁装置对所述转动装置进行清洁。

进一步地，所述转动装置包括多个辊以及将所述多个辊串联连接起来的辊轴承，所述多个辊沿第二方向排列设置。

进一步地，所述清洁装置包括清洁条、承载板以及伸缩杆，所述清洁条承载于所述承载板之上，所述伸缩杆设置于所述承载板之下，所述伸缩杆与所述承载板连接。

进一步地，所述清洁条在所述第二方向上的长度不小于所述转动装置在所述第二方向上的长度，所述清洁条在所述第一方向上的长度不小于所述辊在所述第一方向上的宽度。

进一步地，所述清洁条由聚氨酯材料制成。

根据本发明的另一方面，还提供了一种湿法设备，其包括上述的自清洁的传输设备。

根据本发明的又一方面，又提供了一种自清洁的传输设备的清洁方法，所述传输设备包括多个转动装置以及多个清洁装置，所述多个转动装置沿第一方向排列设置，所述多个清洁装置沿第一方向排列设置，所述转动装置与所述清洁装置一一对应；所述清洁方法包括：所述清洁装置与所述转动装置接触；所述转动装置进行转动，以使所述清洁装置对所述转动装置进行清洁。

进一步地，所述清洁方法还包括：所述转动装置进行转动的同时，所述清洁装置在所述第一方向上往复运动，以使所述清洁装置对所述转动装置进行清洁。

本发明的有益效果：本发明的自清洁的传输设备能够对转动装置及时地进行自动清洁，从而不会在基板上留下辊轮印，进而可以提高基板的良率。此外，由于采用自动清洁，无需定期停机清洁，也无需人工清洁，从而节省人力物力。

附图说明

通过结合附图进行的以下描述，本发明的实施例的上述和其它方面、特点和优点将变得更加清楚，附图中：

图1是根据本发明的实施例的自清洁的传输设备的俯视示意图；

图2是根据本发明的实施例的自清洁的传输设备的侧视示意图；

图3是根据本发明的实施例的自清洁的传输设备不进行清洁的状态示意图；

图4是图2的左视图。

具体实施方式

以下，将参照附图来详细描述本发明的实施例。然而，可以以许多不同的形式来实施本发明，并且本发明不应该被解释为限制于这里阐述的具体实施例。相反，提供这些实施例是为了解释本发明的原理及其实际应用，从而使本领域的其他技术人员能够理解本发明的各种实施例和适合于特定预期应用的各种修改。

在附图中，为了清楚起见，夸大了层和区域的厚度。相同的标号在整个说明书和附图中表示相同的元器件。

图1是根据本发明的实施例的自清洁的传输设备的俯视示意图。图2是根据本发明的实施例的自清洁的传输设备的侧视示意图。在图1中，未示出被传送的基板，而在图2中，示出了被传送的基板。