[发明专利]基板加热装置

权利要求书

1.一种基板加热装置，其特征在于，包括炉体(1)、设于所述炉体(1)内的基板(2)、设于所述炉体(1)上的进气管道(3)和排气管道(4)以及与所述进气管道(3)连通的温控系统(5)，所述温控系统(5)用于调节从所述进气管道(3)进入所述炉体(1)内的气体的温度。

2.根据权利要求1所述的基板加热装置，其特征在于，所述温控系统(5)包括多个加热管道(51)，每个所述加热管道(51)上连接有加热器(52)，每个所述加热管道(51)的出气口均连接至一混合器(53)，所述混合器(53)与所述进气管道(3)连通。

3.根据权利要求2所述的基板加热装置，其特征在于，还包括测温器(6)及控制器(7)，所述温控系统(5)还包括阀门(54)；所述测温器(6)设于所述基板2上，每个所述加热管道(51)上均设有一个所述阀门(54)，所述阀门(54)位于所述加热器(52)与所述混合器(53)之间，所述控制器(7)分别与所述测温器(6)和所述阀门(54)连接。

4.根据权利要求1所述的基板加热装置，其特征在于，所述阀门(54)为电磁阀。

5.根据权利要求1所述的基板加热装置，其特征在于，所述炉体(1)包括底板(11)及环绕所述底板(11)设置的侧板(12)，所述进气管道(3)等间隔的设于所述侧板(12)上，所述进气管道(3)上设有多个出气孔(31)。

6.根据权利要求5所述的基板加热装置，其特征在于，所述多个出气孔(31)均匀的设于所述进气管道(3)朝向所述侧板(12)的两侧。

7.根据权利要求1所述的基板加热装置，其特征在于，所述排气管道(4)为环状结构并位于所述侧板(12)的顶部，所述排气管道(4)的内环壁上设有多个进气孔(41)，所述排气管道(4)的底部设有多个排气孔(42)。

8.根据权利要求7所述的基板加热装置，其特征在于，还包括设于所述排气管道(4)内的滑动板(8)，所述滑动板(8)沿所述排气管道(4)的底部滑动来调节所述排气孔(42)与所述排气管道(4)连通的面积。