[发明专利]一种玻璃检测装置及检测方法

权利要求书

1.一种玻璃内部缺陷检测装置，包括微波发射天线和微波接收天线，其特征在于所述微波发射天线和所述微波接收天线分别位于待检测原玻璃基板的两侧，所述微波发射天线和所述微波接收天线的口面相对，所述玻璃检测装置还包括第二微波接收天线，所述第二微波接收天线与所述微波发射天线位于所述待检测原玻璃基板的同一侧，所述第二微波接收天线的口面朝向所述微波发射天线口面所面对的待检测原玻璃基板局部，所述第二微波接收天线的口面轴线与所述微波发射天线的口面轴线的反射线平行，所述微波接收天线用于接收透射微波波束，所述第二微波接收天线用于接收反射微波波束，所述玻璃内部缺陷检测装置根据对所述透射微波波束和所述反射微波波束的功率以及相位的物理参数的判断结果结合微波波束的扫描位置确定所述玻璃内部缺陷的位置。

2.如权利要求1所述的玻璃内部缺陷检测装置，其特征在于还包括微波透波载台，所述微波透波载台贴合承载所述待检测原玻璃基板。

3.如权利要求1所述的玻璃内部缺陷检测装置，其特征在于所述微波发射天线和所述微波接收天线的口面轴线重合且与所述第二微波接收天线的口面轴线位于垂直所述待检测原玻璃基板的同一垂直平面内，所述微波发射天线和所述微波接收天线的口面轴线与所述待检测原玻璃基板斜交。

4.如权利要求1或2所述的玻璃内部缺陷检测装置，其特征在于还包括微波发生器和微波信号检测仪，所述微波发生器的射频信号输出端口连接所述微波发射天线的馈源，所述微波信号检测仪的检测信号输入端口连接所述微波接收天线的馈源，所述微波信号检测仪的第二检测信号输入端口连接所述第二微波接收天线的馈源，所述微波发生器的旁路检测端口连接所述微波信号检测仪的参考信号输入端口。

5.一种利用权利要求1至4中任一项所述的玻璃内部缺陷检测装置的玻璃检测方法，包括：

固定原玻璃基板；

在所述原玻璃基板的一侧采用扫描微波波束扫描所述原玻璃基板；

在所述原玻璃基板的另一侧同步接收透射微波波束并对所述透射微波波束的所述物理参数进行检测，

所述玻璃检测方法还包括：

在所述扫描微波波束扫描所述原玻璃基板的一侧且被所述扫描微波波束扫描的待检测原玻璃基板局部同步接收反射微波波束并对所述反射微波波束的所述物理参数进行检测，其中，接收所述反射微波波束的第二微波接收天线的口面轴线与发射所述扫描微波波束的微波发射天线的口面轴线的反射线平行。

6.如权利要求5所述的玻璃检测方法，其特征在于还包括：

将所述扫描微波波束作为检测所述透射微波波束和所述反射微波波束的参考信号。