[发明专利]一种分子束外延用衬底材料的清洗方法有效
| 申请号： | 201710638802.9 | 申请日： | 2017-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN107481921B | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 王经纬;巩锋;周立庆 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02 |
| 代理公司： | 11010 工业和信息化部电子专利中心 | 代理人： | 于金平<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 100015*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 分子 外延 衬底 材料 清洗 方法 | ||
1.一种分子束外延用衬底材料的清洗方法，其特征在于，所述方法用于分子束外延碲镉汞材料的衬底的清洗，包括以下步骤：
将所述衬底材料在有机溶剂中进行表面去油脂处理；
将表面去油脂处理后的衬底材料浸入到第一溴甲醇溶液中进行第一次腐蚀；
将第一次腐蚀后的衬底材料放入盐酸溶液中进行清洗；
将经盐酸溶液清洗后的衬底材料浸入到第二溴甲醇溶液中进行第二次腐蚀；
所述第一溴甲醇溶液的体积浓度为0.4％～0.6％；
所述第二溴甲醇溶液的体积浓度为0.05％～0.15％。
2.如权利要求1所述的分子束外延用衬底材料的清洗方法，其特征在于，将所述衬底材料在有机溶剂中进行表面去油脂处理之后，还包括：
去除所述衬底材料表面的有机溶剂。
3.如权利要求1所述的分子束外延用衬底材料的清洗方法，其特征在于，所述第一次腐蚀的时间为50～70S。
4.如权利要求1所述的分子束外延用衬底材料的清洗方法，其特征在于，所述第二次腐蚀的时间为5～15S。
5.如权利要求1所述的分子束外延用衬底材料的清洗方法，其特征在于，在第一次腐蚀和/或第二次腐蚀之后，还包括：
用甲醇清洗所述衬底材料。
6.如权利要求1所述的分子束外延用衬底材料的清洗方法，其特征在于，将第一次腐蚀后的衬底材料放入盐酸溶液进行清洗包括：
将第一次腐蚀后的衬底材料放入体积浓度为5％～15％的盐酸溶液中涮洗50～70S，然后用去离子水清洗所述衬底材料。
7.如权利要求1所述的分子束外延用衬底材料的清洗方法，其特征在于，将所述衬底材料在有机溶剂中进行表面去油脂处理，包括：
将所述衬底材料放入丙酮中进行清洗，以去除所述衬底材料表面的油脂。
8.如权利要求1所述的分子束外延用衬底材料的清洗方法，其特征在于，在将所述衬底材料在有机溶剂中进行表面去油脂处理之前，还包括：
将所述衬底材料进行机械化学抛光或/和化学抛光处理。
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