[发明专利]分光测定装置

权利要求书

1.一种分光测定装置，具备：

分光测定部，对通过狭缝射入的光进行分光测定；以及

光漫射单元，使从多个光纤供给的光漫射，以漫射后的光直接或者经由透镜或反射镜射入所述狭缝的方式相对于所述狭缝进行物理固定，

所述光漫射单元是漫射板，

从所述多个光纤供给的光射入所述漫射板的一方的面，所述漫射后的光从所述漫射板的另一方的面射出，

所述多个光纤的出射端以偏离于穿过所述狭缝的光轴，并围绕所述光轴的方式且倾斜于所述光轴地配置，并向朝向所述狭缝的方向射出光。

2.根据权利要求1所述的分光测定装置，还具备：

光阑，限制朝向所述狭缝的所述漫射后的光的光束。

3.根据权利要求1或2所述的分光测定装置，还具备：

所述多个光纤，将光供给至所述光漫射单元。

4.根据权利要求1所述的分光测定装置，还具备：

遮光切换单元，将来自从所述多个光纤中所选择的一部分光纤的光供给至所述光漫射单元，并遮住来自剩余的光纤的光。