[发明专利]质谱检漏设备

说明书

本发明公开一种质谱检漏设备，包括支撑架、真空腔体、升降机构、安全保护装置、示踪气体源、质谱检漏装置及控制装置；所述升降机构包括轴承、连接轴、齿轮、带轮、配重块及气缸，所述轴承固定在所述支撑架上，所述连接轴与所述轴承相连，所述齿轮套设在所述连接轴上，所述带轮与所述齿轮啮合相连，所述带轮的一端与所述真空腔体相连，所述带轮的另一端与所述配重块相连，所述气缸的一端固定在所述支撑架上，所述气缸的另一端与所述真空腔体相连；所述安全保护装置包括：光栅传感器、到位缓冲器、缓冲器挡板及缓冲块；本发明具有气密性优良、安全性能优及真空腔体开合稳定及等优点。

技术领域

本发明涉及箱体密封性检测技术领域，尤其涉及一种质谱检漏设备。

背景技术

质谱检漏技术已在科研和工业部门得到广泛应用,其主要优点是可在各种检测工况条件下实现泄漏率的定量检测,且其检漏分辨率高、测量范围广,特别适用于微小泄漏率的精确测定。然而现有技术的质谱检漏设备因其气密性的要求，造成其真空腔体开合步骤繁琐，且缺少必要的安全保护。现有技术的真空腔体难以提供一种安全地，同时满足气密性和开合的快捷性要求，造成现有技术的质谱检漏设备无法适应流水线作业要求，制约了生产效率的提高，显然不适宜现代化工业的发展。

发明内容

本发明正是基于以上一个或多个问题，提供一种质谱检漏设备，用以解决现有技术中的真空腔体气密性差、开合步骤繁琐及安全性能差的问题。

本发明提供一种质谱检漏设备，用于检测待测箱体的气密性，其包括：支撑架、真空腔体、升降机构、安全保护装置、示踪气体源、质谱检漏装置及控制装置；

所述真空腔体放置在所述支撑架上，所述真空腔体内设置有用于容纳所述待测箱体的容纳腔；

所述升降机构设于所述支撑架上，用于驱动真空腔体的结合与分离；所述升降机构包括带轮、配重块及气缸，所述带轮活动连接在所述支撑架上，所述带轮的一端与真空腔体相连，所述带轮的另一端与所述配重块相连，所述气缸的一端固定在所述支撑架上，所述气缸的另一端与所述真空腔体相连，用于带动所述真空腔体运动；

所述安全保护装置设置在真空腔体外侧，用于在所述真空腔体的结合与分离过程中进行安全保护；所述安全保护装置包括：到位缓冲器及缓冲器挡板；所述缓冲器挡板固定于所述真空腔体上，用于在所述真空腔体即将运动到预定位置时，与所述到位缓冲器相抵持，以使所述真空腔体缓慢地到达预定位置；

所述示踪气体源用于为所述待测箱体提供示踪气体；

所述质谱检漏装置与所述真空腔体导通连接，用于检测容纳腔内的所述示踪气体含量，从而判断所述待测箱体是否合格；

所述控制装置用于控制所述升降机构、示踪气体源及质谱检漏装置工作。

综上所述，本发明质谱检漏设备通过所述支撑架、真空腔体、升降机构、安全保护装置、示踪气体源、质谱检漏装置及控制装置之间的相互配合，因而在检测所述待测箱体的气密性时，通过所述气缸将所述真空腔体控制在预设位置处，同时通过所述配重块的作用，以使所述真空腔体稳定在所述预设位置处，另外通过所述地安全保护装置对真空腔体结合与分离过程提供安全保障，因而不仅气密性优且开合稳定及安全性能优。

附图说明

图1是本发明的质谱检漏设备的结构示意图；

图2是本发明的去除延伸板的支撑架、真空腔体及升降机构相互配合时的结构示意图；

图3是图2结构的侧视图；

图4是本发明真空腔体的结构示意图；

图5是本发明真空腔体的正视图；

图6是本发明下盖体的侧视图

图7是图2所示A区域的放大图；