[发明专利]一种压力传感器及其制作方法

说明书

本发明公开了一种压力传感器及其制作方法，该压力传感器包括：层叠设置的发光元件、干涉滤光结构和感光元件；其中，发光元件用于向干涉滤光结构发射入射光；干涉滤光结构用于根据施加在压力传感器上的压力改变干涉滤光结构的厚度，形成对应压力的出射光；感光元件用于检测出射光，并形成与出射光对应的电信号。这样通过发光元件发出入射光入射到干涉滤光结构，干涉滤光结构根据施加在压力传感器上的压力改变干涉滤光结构的厚度，对入射光进行多光束干涉作用形成对应外界压力的出射光，从而通过感光元件检测出射光以实现压力的检测。该压力传感器组件通过感光测得相应的压力，其分辨率高、灵敏度高、并且可进行面压强检测。

技术领域

本发明涉及传感器技术领域，尤其涉及一种压力传感器及其制作方法。

背景技术

压力传感器是一种检测装置，能将被测量的压力按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。压力传感器是生产和生活中常用的感应设备，其广泛应用于各种自控环境。

传统的压力传感器以机械结构型的器件为主，以弹性元件的形变指示压力，但这种传感器结构尺寸大、质量重，不能提供电学输出。随着新材料技术的发展，新型传感器也应运而生。压电式压力传感器是利用压电材料的压电效应将被测压力转换为电信号的传感器。压电式压力传感器巨头体积小，结构简单，能提供电学输出的优点，是使用最为广泛的一种压力传感器。然而，压电式压力传感器仍然存在以下缺点：其分辨率较低，对微小应变不敏感，对微小力值的测量不能很好的响应。

因此，如何提高压力传感器的分辨率和灵敏度，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明实施例提供了一种压力传感器及其制作方法，用以解决现有技术中存在的压力传感器分辨率较低，对微小应变不敏感的问题。

本发明实施例提供了一种压力传感器，包括：层叠设置的发光元件、干涉滤光结构和感光元件；其中，

所述发光元件用于向所述干涉滤光结构发射入射光；

所述干涉滤光结构用于根据施加在所述压力传感器上的压力改变所述干涉滤光结构的厚度，形成对应所述压力的出射光；

所述感光元件用于检测所述出射光，并形成与所述出射光对应的电信号。

在一种可能的实施方式中，本发明实施例提供的上述压力传感器中，所述干涉滤光结构，包括：相对设置的第一反射层和第二反射层，以及位于所述第一反射层和所述第二反射层之间的弹性支撑单元。

在一种可能的实施方式中，本发明实施例提供的上述压力传感器中，所述弹性支撑单元、所述第一反射层和所述第二反射层形成中空腔体结构，所述中空腔体结构内填充有惰性气体。

在一种可能的实施方式中，本发明实施例提供的上述压力传感器中，所述弹性支撑单元的材料为弹性透明材料。

在一种可能的实施方式中，本发明实施例提供的上述压力传感器中，所述第一反射层的材料为银或铝；所述第二反射层的材料为银或铝。

在一种可能的实施方式中，本发明实施例提供的上述压力传感器中，所述发光元件，包括：阴极、阳极，以及位于所述阴极和所述阳极之间的有机功能层；其中，

所述有机功能层用于在所述阴极与所述阳极施加电信号时进行发光。

在一种可能的实施方式中，本发明实施例提供的上述压力传感器中，所述有机功能层，包括：电子传输层、空穴传输层，以及位于所述电子传输层和所述空穴传输层之间的有机发光层。

在一种可能的实施方式中，本发明实施例提供的上述压力传感器中，所述感光元件为具有呈矩阵排列的多个光电二极管的电荷耦合元件。

本发明实施例提供了一种压力传感器的制作方法，包括：