[发明专利]正型感光性树脂组合物、金属布线的制造方法及层叠体

说明书

本发明涉及正型感光性树脂组合物、金属布线的制造方法及层叠体。本发明的课题在于提供：正型感光性树脂组合物，其用于形成有机膜，所述有机膜在对金属膜进行蚀刻而形成金属布线时作为蚀刻掩模使用，并且在已固化的状态下作为被覆经蚀刻而形成的金属布线的永久膜使用，所述永久膜均匀地被覆金属布线的整个面，并且不被覆金属布线以外的部位；金属布线的制造方法，其使用该正型感光性树脂组合物；及层叠体，其具有使该正型感光性树脂组合物固化而形成的永久膜和金属布线。本发明使用下述正型感光性树脂组合物来形成经图案化的上述有机膜，所述正型感光性树脂组合物包含(A)Novolac树脂、(B)含有醌二叠氮基的化合物、和(C)着色剂。

技术领域

本发明涉及：正型感光性树脂组合物，所述正型感光性树脂组合物用于形成经图案化的有机膜，所述经图案化的有机膜在对金属膜进行蚀刻而形成金属布线时作为蚀刻掩模使用，并且在已固化的状态下作为被覆经蚀刻而形成的金属布线的永久膜使用；金属布线的制造方法，所述方法使用该正型感光性树脂组合物；及层叠体，所述层叠体具有使该正型感光性树脂组合物固化而形成的永久膜和金属布线。

背景技术

随着智能手机、平板型信息通信终端的迅速普及，触摸面板市场正在迅速发展。

对于所述触摸面板而言，有时在显示面内形成由金属构成的电极、布线。例如，作为这样的电极，可举出使用了Cu、Ag的金属网状电极。然而，在显示面内形成由金属构成的电极、布线的情况下，存在触摸面板的使用者容易目视识别出金属电极、金属布线的问题，即使假设使该金属电极、金属布线的线宽变细至人眼无法目视识别的程度，也仍会产生下述问题：由于金属的反射率高而导致发生外界光线的反射。

为了解决上述问题，提出了在金属电极、金属布线等的金属薄膜上设置反射率低的反射率控制机构的方法。

具体而言，已知有下述方法：使用感光性树脂组合物，利用光刻法而在透明支承体上的金属层上设置经图案化的树脂层，然后通过蚀刻而将从经图案化的树脂层的开口部露出的金属层除去，接着对树脂层进行烘烤，由此，设置将经蚀刻的金属层的表面均匀地被覆的反射率控制机构(经烘烤的树脂层)(参见专利文献1。)。

也即，在专利文献1所记载的方法中，经图案化的树脂层被兼用作用于通过蚀刻而形成金属布线的蚀刻掩模和反射控制机构。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2016-071242号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，在使用专利文献1中记载的感光性树脂组合物、利用上述方法而形成被覆经蚀刻的金属层(金属布线)表面的反射率控制机构(经烘烤的树脂层)时，即使能均匀地被覆金属布线的整个面，也仍然存在金属布线以外的部位(典型的是像素部)被反射率控制机构被覆的情况。该情况下，由于金属布线以外的部位中的光的透过被阻碍，因而难以使用具有金属布线的基板来制造能显示高画质的图像的图像显示装置。

本发明是鉴于上述课题而作出的，目的在于提供：正型感光性树脂组合物，所述正型感光性树脂组合物用于形成经图案化的有机膜，所述经图案化的有机膜在对金属膜进行蚀刻而形成金属布线时作为蚀刻掩模使用，并且在已固化的状态下作为被覆经蚀刻而形成的金属布线的永久膜使用，所述正型感光性树脂组合物能够形成均匀地被覆金属布线的整个面、并且不被覆金属布线以外的部位的永久膜；金属布线的制造方法，所述方法使用该正型感光性树脂组合物；及层叠体，所述层叠体具有使该正型感光性树脂组合物固化而形成的永久膜和金属布线。

需要说明的是，本申请说明书中，永久膜被覆金属布线的整个面是指下述状态：针对具有被永久膜被覆的金属布线的基板而从与基板的设置了金属布线的面垂直的方向进行观察时，观察不到金属布线露出。

在对具有金属布线和永久膜的基板的剖面进行观察时，金属布线的侧面的一部分可以露出。