[发明专利]光学装置和光电模块以及用于制造光学装置和光电模块的方法在审
申请号: | 201710644168.X | 申请日: | 2012-12-18 |
公开(公告)号: | CN107634073A | 公开(公告)日: | 2018-01-26 |
发明(设计)人: | M·罗西;H·拉德曼;S·海姆加特纳;A·比特施;R·莱纳特 | 申请(专利权)人: | 新加坡恒立私人有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;H01L27/148 |
代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司11280 | 代理人: | 王勇,王博 |
地址: | 新加坡*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 装置 光电 模块 以及 用于 制造 方法 | ||
本申请是2014年6月18日提交的申请号为201280062674.3、发明名称为“光学装置和光电模块以及用于制造光学装置和光电模块的方法”的专利申请的分案申请。
技术领域
本发明涉及光学和光电领域,尤其涉及微光学和微光电子。更具体地,其涉及诸如例如可在照相机中和更具体地可在多通道或计算型照相机中使用的光学传感器或传感器模块。本发明涉及根据权利要求的前序部分的方法和设备。
术语定义
“有源光学器件”:光感测或光发射器件。例如,光电二极管、图像传感器、LED、OLED、激光芯片。有源光学器件可以呈现为裸片或呈现为在封装中,即作为封装器件。
“无源光学器件”:通过折射和/或衍射和/或(内部和/或外部)反射改变光方向的光学器件,诸如透镜、棱镜、反射镜、或光学系统,其中光学系统为这种光学器件的集合,且这种光学器件还可包括诸如孔径光阑、图像屏幕、支架的机械元件。
“光电模块”:包含有至少一个有源光学器件和至少一个无源光学器件的器件。
“复制”:再现出给定结构或其阴版(negative)的技术。例如,蚀刻、模压、压印、铸造、模塑。
“晶片”:基本为盘状或板状的物体,其在一个方向(z-方向或纵向)上的尺度(extension)小于其在另外两个方向(x-和y-方向或横向)上的尺度。通常,在(非空白)晶片上,典型地在矩形网格上布置有或在其中提供有多个相似的结构或物品。晶片可具有开口或孔,且晶片在其横向区域的主体部分中甚至可没有材料。晶片可以具有任何横向形状,其中,通常为圆形和矩形。虽然大多数情况下,晶片被理解为通常由半导体材料制成,但在本专利申请中,显然没有这种限制。因而,晶片可以通常由例如半导体材料、聚合物材料、包含金属和聚合物或聚合物和玻璃材料的复合材料制成。特别地,诸如加热或UV-固化聚合物的可硬化材料是结合本发明感兴趣的晶片材料。
“横向”:参见“晶片”。
“纵向”:参见“晶片”。
“光”:多为电磁辐射;更特别地,电磁光谱的红外、可见或紫外部分的电磁辐射。
背景技术
多孔径照相机或计算型照相机近来越发重要。在这种照相机中,通常实际上同时地拍摄至少实际上相同场景的几个多像素图像,然后使用一些种类的算法以用于形成所述场景的最终图像。例如,功能(诸如之前需要被机械地执行的聚焦)可以根据所述理念通过合适的软件来执行。完成这一过程的一种方式已知为所谓的“全景照相机”,其使用辐射入射方向上的数据计算所拍摄图像的3D信息。还存在这样一种软件,其可以根据同时从同一视角拍摄的多个低分辨率图像来计算出高分辨率图像。相应教导的例子可以在EP 1 357 514和其中所引用的文献中找到。涉及照相机阵列的相应教导的另一例子在WO 2009/151903中公开。
还可以从各自利用不同颜色的光拍摄的多像素图像创建彩色图像。或者,多像素图像可以以不同灵敏度拍摄以实现最终图像的增大的动态范围。
可需要小型化这种照相机。并且有利的是,使不属于多个通道中的一个通道的光不会在该通道中被检出,并且更具体地最小化串扰,即,最小化光从通道中的一个溢出至通道中另一个。
发明内容
本发明的一个目标是创建提供特别好的光学质量的光学装置和光电模块。另外,还分别提供了制造这种光学装置和所述光电模块的方式以及相应的晶片、晶片堆叠和电子装置。此外,还提供了抗蚀材料的用途。
本发明的另一目标是提供小型化的光学装置和/或光电模块。
本发明的另一目标是提供一种高效地分别制造光学装置和光电模块的方式,特别在晶片级上。
本发明的另一目标是提供一种具有好的光学质量的特别小的计算型照相机或多孔径照相机。
本发明的另一目标是提供一种很大程度上抑制了杂散光的光电模块。
根据以下说明书和实施例可获知其它目标。
通过根据本专利权利要求的设备和方法,能够至少部分地实现这些目标中至少之一。
光学装置包括第一基底,第一基底包括至少一个光学结构,光学结构包括:
-主体部分;以及
-至少部分围绕所述主体部分的周围部分。
装置进一步包括施加至周围部分的不透明材料。
这种装置具有特别好的光学质量,特别地由于其进行杂散光抑制。并且这种装置可以用于光电模块中,特别地用于设计特别小的多通道光电模块。
在一个实施例中,所述主体部分和所述周围部分形成整体部件。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的