[发明专利]一种透过率多级调制的X射线选能器件

权利要求书

1.一种透过率多级调制的X射线选能器件，用于多种需求的X射线能带选择，其特征在于，所述X射线选能器件包括排成阵列的多个微通道，每个所述微通道的横截面呈正方形，微通道的内壁为反射面，选能时，待选能的X射线从微通道的一端以1～10°的入射角射入，在微通道的另一端得到目标X射线。

2.根据权利要求1所述的一种透过率多级调制的X射线选能器件，其特征在于，所述微通道的长度与微通道横截面边长的比例为(5～50)：1。

3.根据权利要求1所述的一种透过率多级调制的X射线选能器件，其特征在于，所述微通道的内壁粗糙度≤2nm。

4.根据权利要求3所述的一种透过率多级调制的X射线选能器件，其特征在于，所述微通道内壁设有镀层。

5.根据权利要求4所述的一种透过率多级调制的X射线选能器件，其特征在于，所述镀层的材料选自Au、Ag、C、Ni、Mo、Y、Al中的一种。

6.根据权利要求4或5所述的一种透过率多级调制的X射线选能器件，其特征在于，所述微通道两端内壁的镀层与微通道中间段内壁的镀层材质相同或不同，所述微通道的两端为距离微通道入口或出口的长度占微通道总长度≤20％的通道。

7.根据权利要求4所述的一种透过率多级调制的X射线选能器件，其特征在于，所述微通道两端内壁的镀层为双周期多层膜结构的镀层，所述微通道的两端为距离微通道入口或出口的长度占微通道总长度≤20％的通道。

8.根据权利要求3所述的一种透过率多级调制的X射线选能器件，其特征在于，所述微通道内壁不设镀层。