[发明专利]多孔性抛光垫的锥形化方法

权利要求书

1.一种形成多孔聚氨基甲酸酯抛光垫的方法，其包括：

使热塑性聚氨基甲酸酯凝结产生多孔基质，所述多孔基质具有从基底表面向上延伸并且对上表面开放的大孔隙，所述大孔隙与小孔隙互连，一部分所述大孔隙对顶部抛光表面开放，所述大孔隙延伸到具有基本上垂直定向的所述顶部抛光表面，并且所述热塑性聚氨基甲酸酯具有软化起始温度；

加热压机到比所述热塑性聚氨基甲酸酯的所述软化起始温度低10K到高10K的温度，所述软化起始温度由初始TMA斜率变化定义，并且抵着所述热塑性聚氨基甲酸酯按压所述热压机以形成由包含所述大孔隙和所述小孔隙的所述多孔基质形成的一系列枕块结构；

使所述枕块结构的侧壁塑性变形以形成向下倾斜的侧壁，所述向下倾斜的侧壁从所述枕块结构的所有侧面延伸，一部分所述大孔隙对所述向下倾斜的侧壁开放，对所述向下倾斜的侧壁开放的所述大孔隙比对所述顶部抛光表面开放的所述大孔隙垂直度更小，并且在与所述倾斜侧壁更正交的方向上从垂直方向偏移10到60度，其中所述垂直方向与所述抛光表面正交；以及

在所述倾斜侧壁的底部使所述热塑性聚氨基甲酸酯熔化和凝固以封闭大部分所述大孔隙和小孔隙并且形成凹槽通道。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述侧壁塑性变形以及所述熔化和凝固步骤形成互连凹槽栅格。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述侧壁塑性变形形成从所述抛光表面通向所述向下倾斜的侧壁具有5到30的初始锥度区间的向下倾斜的侧壁。

4.根据权利要求1所述的方法，其中热压机引发所述侧壁塑性变形以及在所述倾斜侧壁的所述底部的所述热塑性聚氨基甲酸酯的所述熔化和凝固。

5.根据权利要求1所述的方法，其中如从所述抛光表面处所述侧壁的顶部所测量，所述塑性变形侧壁中的大部分所述小孔隙保持对所述凹槽通道开放至少100μm的距离。

6.一种形成多孔聚氨基甲酸酯抛光垫的方法，其包括：

使热塑性聚氨基甲酸酯凝结产生多孔基质，所述多孔基质具有从基底表面向上延伸并且对上表面开放的大孔隙，所述大孔隙与小孔隙互连，一部分所述大孔隙对顶部抛光表面开放，所述大孔隙延伸到具有基本上垂直定向的所述顶部抛光表面，并且所述热塑性聚氨基甲酸酯具有软化起始温度；

加热压机到比所述热塑性聚氨基甲酸酯的所述软化起始温度低5K到高5K的温度，所述软化起始温度由初始TMA斜率变化定义，并且抵着所述热塑性聚氨基甲酸酯按压所述热压机以形成由包含所述大孔隙和所述小孔隙的所述多孔基质形成的一系列枕块结构；

使所述枕块结构的侧壁塑性变形以形成向下倾斜的侧壁，所述向下倾斜的侧壁从所述枕块结构的所有侧面延伸，一部分所述大孔隙对所述向下倾斜的侧壁开放，对所述向下倾斜的侧壁开放的所述大孔隙比对所述顶部抛光表面开放的所述大孔隙垂直度更小，并且在与所述倾斜侧壁更正交的方向上从垂直方向偏移10到60度，其中所述垂直方向与所述抛光表面正交；以及

在所述倾斜侧壁的底部使所述热塑性聚氨基甲酸酯熔化和凝固以封闭大部分所述大孔隙和小孔隙并且形成凹槽通道。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述侧壁塑性变形以及所述熔化和凝固步骤形成互连凹槽栅格。

8.根据权利要求6所述的方法，其中所述侧壁塑性变形形成从所述抛光表面通向所述向下倾斜的侧壁具有5到30的初始锥度区间的向下倾斜的侧壁。

9.根据权利要求6所述的方法，其中热压机引发所述侧壁塑性变形以及在所述倾斜侧壁的所述底部的所述热塑性聚氨基甲酸酯的所述熔化和凝固。

10.根据权利要求6所述的方法，其中如从所述抛光表面处所述侧壁的顶部所测量，所述塑性变形侧壁中的大部分所述小孔隙保持对所述凹槽通道开放至少100μm的距离。