[发明专利]改善激光切割工艺中倒角区域缺陷的方法有效
申请号: | 201710649943.0 | 申请日: | 2017-08-02 |
公开(公告)号: | CN107283075B | 公开(公告)日: | 2019-01-15 |
发明(设计)人: | 袁朝煜 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | B23K26/38 | 分类号: | B23K26/38;B23K26/18;B23K35/22 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 导热缓冲层 第一区域 第二区域 汽化 显示面板 倒角区域 激光切割工艺 激光 激光作用 切割缝隙 切割过程 表面形成 不良现象 热应力 微裂纹 发射 倒角 切割 融化 | ||
本发明提供一种改善激光切割工艺中倒角区域缺陷的方法,包括如下步骤:在显示面板倒角区域表面形成导热缓冲层,导热缓冲层包括第一区域及第二区域,第一区域导热缓冲层的厚度小于第二区域导热缓冲层的厚度;发射激光,激光作用在第一区域,第一区域及第二区域的导热缓冲层汽化,第一区域的导热缓冲层完全汽化,第二区域的导热缓冲层部分汽化,使得激光作用在第一区域对应的显示面板上;继续发射激光,激光继续切割所述显示面板,在切割过程中,剩余的第二区域的导热缓冲层融化并流入切割缝隙中,且在切割过程中,流入切割缝隙中的导热缓冲层汽化;形成具有倒角的显示面板。本发明优点在于,能够有效改善热应力的产生和微裂纹的扩展等不良现象。
技术领域
本发明涉及液晶显示领域,尤其涉及一种改善激光切割工艺中倒角区域缺陷的方法。
背景技术
平面显示装置具有机身薄、省电、无辐射等众多优点,得到了广泛的应用。现有的平面显示装置主要包括液晶显示装置(LCD,Liquid Crystai Display)及有机发光.显示装置(OLED,Organic Light Emitting Display)。
有机发光显示装置具备自发光高亮度、宽视角、高对比度、可挠曲,低能耗等特性,因此受到广泛的关注,并作为新一代的显示方式,已开始逐渐取代传统液晶显示装置,是未来显示行业新的增长点,被广泛应用于手机屏幕、电脑显示器、全彩电视等电子产品上。
OLED显示面板制备过程中每一个工艺的作用效果都会直接影响后续制程以及最终产品的性能。
激光倒角技术是利用激光切割技术对显示面板(panel)边角区域进行倒角切除,以满足客户或者产品设计方面的需求。图1A是现有的OLED显示面板激光倒角前的侧面示意图,图1B是现有的OLED显示面板激光倒角后的侧面示意图,图1C是现有的OLED显示面板激光倒角后的俯视示意图,图1D是现有的OLED显示面板激光倒角后的另一示意图。
请参阅图1A及图1B,在OLED显示面板10的倒角区域A区域,激光11照射该区域,完成倒角动作。请参阅图1C,在OLED显示面板10的角落区域是倒角区域A区域。随着未来产品多样化的需求,倒角区域可能会采用形状不规则的倒角(根据用户需求的个性定制化倒角),请参阅图1D,倒角区域A区域的倒角为形状不规则的倒角。
激光倒角技术的缺点在于,由于激光能量密度很高,在倒角区域A区域易产生较大的温度梯度,其不规则变形造成的应力集中容易产生微观缺陷和宏观缺陷,例如热应力和微裂纹等。
图1E是激光倒角后热影响区域及未裂纹示意图,请参阅图1E,在倒角区域A区域,激光11照射后,在一定范围内会形成热影响区及裂纹区,如图中B箭头所示。图1F是激光倒角后倒角区域的显微镜图,请参阅图1F,如图中箭头所指示,在倒角区域出现倒角缺陷。现有制备工艺下,在倒角后并没有修复缺陷的附加工艺,如果这些微观和宏观缺陷在后续制程中的扩展可能会直接影响OLED显示面板的产品性能。另外,如图1D所示,随着未来产品多样化的需求,倒角区域A区域可能会采用形状不规则的倒角,倒角区域产生的不良现象可能引起更多的问题。
因此,亟需一种新的方法,克服上述激光切割工艺中存在的缺陷。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是,提供一种改善激光切割工艺中倒角区域缺陷的方法,其能够有效改善热应力的产生和微裂纹的扩展等不良现象。
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