[发明专利]金属超材料波片在审
| 申请号： | 201710650278.7 | 申请日： | 2017-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN107238885A | 公开（公告）日： | 2017-10-10 |
| 发明（设计）人： | 韦欣;胡晓斌;宋国峰;李健 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30;G02B1/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属 材料 | ||
1.一种金属超材料波片，包括：
介质衬底；
金属超材料层，设置于所述介质衬底上；该金属超材料层包括金属颗粒周期性阵列；
介质包覆层，设置于所述金属超材料层上，用于提供阻抗匹配；
其中，所述金属颗粒周期性阵列中的金属颗粒按矩形阵列排布；所述金属颗粒周期性阵列中的每个金属颗粒至少包含一对平行的光滑平面侧壁，用于在垂直于光滑平面侧壁方向的相邻金属颗粒之间形成法布里珀罗谐振腔。
2.根据权利要求1所述的一种金属超材料波片，其中，所述金属颗粒的厚度不小于入射光在所述介质包覆层中工作波长的三分之一。
3.根据权利要求1所述的一种金属超材料波片，其中，入射光被所述金属颗粒散射后耦合到法布里珀罗共振腔中形成横向法布里珀罗共振。
4.根据权利要求1所述的一种金属超材料波片，其中，通过改变所述金属颗粒的尺寸来调节偏振方向分别平行和垂直于法布里珀罗谐振腔的透射光分量之间的相位延迟。
5.根据权利要求1所述的一种金属超材料波片，其中，所述金属超材料波片为四分之一波片或半波片。
6.根据权利要求1所述的一种金属超材料波片，其中，金属颗粒的形状为长方体，通过改变金属颗粒的长轴长度来调节偏振方向分别平行和垂直于法布里珀罗谐振腔的透射光分量之间的相位延迟。
7.根据权利要求1所述的一种金属超材料波片，其中，通过调节所述相邻金属颗粒的光滑平面侧壁之间的距离，即法布里珀罗谐振腔的腔长，实现对该金属超材料波片工作波长的选取。
8.根据权利要求1所述的一种金属超材料波片，其中，所述金属超材料波片工作波长范围为可见光到微波波段。
9.根据权利要求1所述的一种金属超材料波片，其中，所述介质衬底与介质包覆层的材料为该波片工作波段内无吸收的介质。
10.根据权利要求1所述的一种金属超材料波片，其中，所述金属颗粒的材料为金、银、铜或铝。
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