[发明专利]一种单晶硅生长炉电极升降机构

说明书

本发明涉及单晶炉设备技术领域，具体是一种单晶硅生长炉电极升降机构，包括安装在单晶炉炉底盘上的第一主电极、第一辅助电极、第二主电极、第二辅助电极、第一副电极和第二副电极这六个电极单元，其中：第一主电极和第一辅助电极通过第一连接轴联动形成第一对电极组，所述第一主电极与第一辅助电极共同连接第一侧部加热器。本发明的有益效果是，热场的侧部加热器和底部加热器可以随坩埚位置变化而变化，热场温度更均衡，有利于晶体生长，提升生长晶棒的品质。

技术领域

本发明涉及单晶炉设备技术领域，具体是一种单晶硅生长炉电极升降机构。

背景技术

现有主流单晶硅生长炉的主电极和副电极都是固定在炉底盘上，无法升降，因此与主电极相连的侧部加热器、与副电极相连的底部加热器都是固定的。在长晶时，坩埚位置会逐渐上升，与加热器位置发生变化，导致热场不均衡，影响长晶和生产晶棒品质。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足，提供一种可分别操作两组侧部加热器及一底部加热器进行独立升降加热的单晶硅生长炉电极升降机构。

为了达到上述目的，本发明提供了一种单晶硅生长炉电极升降机构，包括安装在单晶炉炉底盘上的第一主电极、第一辅助电极、第二主电极、第二辅助电极、第一副电极和第二副电极这六个电极单元，其中：

第一主电极和第一辅助电极通过第一连接轴联动形成第一对电极组，所述第一主电极与第一辅助电极共同连接第一侧部加热器；

第二主电极和第二辅助电极通过第二连接轴联动形成第二对电极组，所述第二主电极与第二辅助电极共同连接第二侧部加热器；

第一副电极和第二副电极通过软轴联动形成第三对电极组，所述第一副电极与第二副电极共同连接底部加热器；

所述第一主电极、第二主电极、第一副电极及第二副电极分别连通电源，所述第一主电极、第二主电极及第一副电极均配有动力单元；

每个电极单元均具有一安装在单晶炉炉底盘上的基架及直线导轨、电极升降架、电缆连接板、升降机、焊接波纹管、电极、绝缘套、冷却水管及电极套，所述基架向上垂直安装直线导轨，电极升降架安装在所述直线导轨的滑块上，所述电极升降架上安装电极套，该电极套内依次设有绝缘套和电极，所述电极的轴心线处设有冷却水管，所述水管连通四通接头，该电极的底部设有电缆连接板，所述电极升降机连接升降架，该电极升降机连接焊接波纹管的一端，所述焊接波纹管的另一端固定在所述单晶炉炉底盘上；

所述动力单元包括伺服马达、减速器及齿轮箱，在所述基架上安装马达座，所述伺服马达安装在该马达座上，所述伺服马达依次连接第一联轴器、减速器、第二联轴器及齿轮箱，所述齿轮箱与所述基架固定连接。