[发明专利]一种润滑油微粒分离装置的设计及制作方法

权利要求书

1.一种润滑油微粒分离装置的设计及制作方法，其特征在于：在极化好的压电基底上采用低温银浆丝网印刷法直接印刷对称的梯形叉指式电极，形成梯形叉指式宽频带声表面波换能器；在两对称的梯形叉指式电极中间用激光刻蚀加工出微流通道，形成微流控芯片；利用微流控芯片与润滑油回路连接形成的润滑油微粒分离装置，用于进行微粒的集中与分离监测；

所述微粒的集中与分离监测的具体过程为：调节SAW的波长，调控驻波压力节点来分离不同粒径粒子，结合超井深三维显微镜的观察来判断微粒分离状况，通过调节微流通道和叉指式宽频带声表面波换能器尺寸来检测更小或更大的悬浮微粒；

所述微流控芯片与润滑油回路连接具体为：采用信号多路技术，对微粒扫描后进行油品和故障诊断分析，最后根据实验分析结果对该装置进行综合评价与改进，分离粒子后的润滑油可重复再利用。

2.根据权利要求1所述的一种润滑油微粒分离装置的设计及制作方法，其特征在于所述微流控芯片的制作过程为：采用激光刻蚀技术，结合微纳米加工技术来改进微流通道加工的技术，激光刻蚀法使得各通道具有整体一致性，减少SAW的耦合层，从而减少能量损失，形成稳定层流。

3.一种润滑油微粒分离装置，其特征在于：利用权利要求1-2任一项所述的方法制备而得，具体包括微流控芯片和润滑油回路连接两部分；所述微流控芯片以压电基底为载体，表面采用低温银浆丝网印刷法直接印刷对称的梯形叉指式电极形成梯形叉指式宽频带声表面波换能器；微流通道采用精确激光刻蚀技术直接刻在两对称的梯形叉指式电极正中间，通道方向与叉指方向平行，进而形成微流控芯片；所述微流控芯片直接连接于润滑油回路中组成润滑油微粒分离装置。