[发明专利]光波导干涉仪和用于制造光波导干涉仪的方法

权利要求书

1.一种光波导干涉仪，包括：

第一光学部；

第二光学部；

一组光波导，所述一组光波导连接第一光学部和第二光学部，以使得在第一光学部和第二光学部之间传播的光通过所述组中的每个光波导，其中，所述一组光波导包括具有第一长度和第一宽度的第一光波导以及具有第二长度和第二宽度的第二光波导，其中，第二长度大于第一长度，第二宽度大于第一宽度，

其中，所述第一光波导和所述第二光波导的宽度是均匀的。

2.一种光波导干涉仪，包括：

第一光学部；

第二光学部；

一组光波导，所述一组光波导连接第一光学部和第二光学部，以使得在第一光学部和第二光学部之间传播的光通过所述组中的每个光波导，其中，所述一组光波导包括具有第一长度和第一宽度的第一光波导以及具有第二长度和第二宽度的第二光波导，其中，第二长度大于第一长度，第二宽度大于第一宽度；

其中，波导中的至少一个的宽度是非均匀的，并且其中，所述第一宽度是第一光波导在第一长度上的平均宽度，并且其中，所述第二宽度是第二光波导在第二长度上的平均宽度；

其中，所述光波导中的每个包括较宽的段和至少一个比所述较宽的段窄的段；

其中，所述第二光波导的所述较宽的段的宽度大于所述第一光波导的所述较宽的段的宽度。

3.根据权利要求1或2所述的光波导干涉仪，

其中，所述第一光学部是分支部，所述分支部包括用于将光接收到分支部中的至少一个分支输入端口以及用于将光从分支部输出的至少两个分支输出端口，其中，所述两个分支输出端口包括连接到第一光波导的第一分支输出端口以及连接到第二光波导的第二分支输出端口，并且

其中，所述第二光学部是光耦合部，所述光耦合部包括用于将光接收到耦合部中的至少两个耦合输入端口以及用于将光从耦合部输出的至少一个耦合输出端口，其中，所述两个耦合输入端口包括连接到第一光波导的第一耦合输入端口以及连接到第二光波导的第二耦合输入端口。

4.根据权利要求1或2所述的光波导干涉仪，其中，第一光波导的有效折射率大于第二光波导的有效折射率。

5.根据权利要求4所述的光波导干涉仪，其中，第一宽度和第二宽度被选为使得第一波导的第一长度和有效折射率偏差的乘积等于第二波导的第二长度和有效折射率偏差的乘积。

6.根据权利要求5所述的光波导干涉仪，其中，当第一长度是L₁、第二长度是L₂、第一偏差是Δn₁并且第二偏差是Δn₂时，第一宽度和第二宽度被确定为使得L₁和Δn₁的乘积与L₂和Δn₂的乘积之间的差异小于10％。

7.根据权利要求5所述的光波导干涉仪，其中，第一宽度和第二宽度被确定为使得L₁·Δn₁＝α·L₂·Δn₂并且0.9≤α≤1.1。

8.根据权利要求1所述的光波导干涉仪，其中，所述光干涉仪是不对称马赫-曾德尔干涉仪。

9.根据权利要求1所述的光波导干涉仪，其中，所述光干涉仪是阵列波导光栅。

10.根据权利要求1所述的光波导干涉仪，其中，所述光干涉仪包括两个多模干涉设备和多于两个的互连波导。

11.根据权利要求1所述的光波导干涉仪，其中，所述一组光波导包括多于两个的波导，其中，所述组中的所有波导都具有不同长度和不同宽度，所述不同长度和不同宽度被选为使得比另一个波导长的每个光波导比所述另一个波导宽。