[发明专利]一种喷铯装置有效
申请号: | 201710661200.5 | 申请日: | 2017-08-04 |
公开(公告)号: | CN107385376B | 公开(公告)日: | 2019-07-19 |
发明(设计)人: | 陈德智;徐强;刘开锋;李冬;李小飞;左晨;赵鹏 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | C23C4/08 | 分类号: | C23C4/08;C23C4/12 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 廖盈春;曹葆青 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传导单元 温度检测单元 加热单元 管阀 传导管 电阻丝 全金属 法兰 缠绕 感应加热方式 传输 连接元件 欧姆加热 喷嘴 安瓿瓶 固定的 可控的 导管 盲板 蒸发 存储 陶瓷 配合 | ||
1.一种喷铯装置,包括储铯单元(100)、第一传导单元(200)和第二传导单元(300),其特征在于,所述储铯单元(100)包括:安瓿瓶(105)、储铯管(102)、第一CF法兰(107)、第一加热单元和第一温度检测单元;
所述安瓿瓶(105)设置在所述储铯管(102)的底部,用于储存铯,所述储铯管(102)为下细上粗结构,便于与所述第一传导单元(200)匹配连接,所述储铯管(102)用于对所述安瓿瓶(105)破裂时释放出的铯进行存储及蒸发;所述第一CF法兰(107)用于连接所述储铯管(102)与所述第一传导单元(200),且当所述安瓿瓶(105)中的铯消耗完需更换时便于拆卸;所述第一加热单元和所述第一温度检测单元均设置于所述储铯管(102)和所述第一CF法兰(107)的表面,所述第一加热单元用于对所述储铯管(102)和所述第一CF法兰(107)进行加热,所述第一温度检测单元用于对所述储铯管(102)和所述第一CF法兰(107)进行温度检测;
所述第一加热单元包括:第一欧姆加热元件(101)和第一感应加热元件(106);
所述第一欧姆加热元件(101)设置于所述储铯管(102)外表面,用于对所述储铯管(102)进行加热;
所述第一感应加热元件(106)设置于所述第一CF法兰(107)处,用于对所述第一CF法兰(107)进行加热。
2.如权利要求1所述的喷铯装置,其特征在于,所述第一温度检测单元包括:第一温度传感器(103)和第二温度传感器(104),所述第一温度传感器(103)设置于所述第一CF法兰(107)处,所述第二温度传感器(104)设置于所述储铯管(102)处,两者均用于对相应部位的温度进行测量,并将测量温度值与目标温度值进行比较,通过反馈调节第一加热单元的电流使所述储铯管(102)和所述第一CF法兰(107)达到目标温度值。
3.如权利要求1所述的喷铯装置,其特征在于,所述第一传导单元(200)包括:盲板(201)、第一全金属管阀(202)、第一传导管(205)、第二全金属管阀(208)、第二加热单元和第二温度检测单元;
所述盲板(201)通过所述第一全金属管阀(202)和所述第一传导管(205)相连,用于为抽真空预留接口;
所述第一传导管(205)为中间粗且两边细结构,所述第一传导管(205)和所述第二传导单元(300)通过所述第二全金属管阀(208)连接,所述第二全金属管阀(208)用于控制铯蒸发的通断;
所述第二加热单元和所述第二温度检测单元均设置在所述第一传导管(205)、所述第一全金属管阀(202)和所述第二全金属管阀(208)的外表面处,所述第二加热单元用于所述第一传导管(205)、所述第一全金属管阀(202)和所述第二全金属管阀(208)进行加热,所述第二温度检测单元用于所述第一传导管(205)、所述第一全金属管阀(202)和所述第二全金属管阀(208)进行温度检测。
4.如权利要求3所述的喷铯装置,其特征在于,所述第二加热单元包括:第二感应加热元件(204)、第二欧姆加热元件(206)和第三感应加热元件(210);
所述第二感应加热元件(204)设置于所述第一全金属管阀(202)处,所述第三感应加热元件(210)设置于所述第二全金属管阀(208)处,均用于对管阀的加热,所述第二欧姆加热元件(206)设置于所述第一传导管(205)的外表面,用于对所述第一传导管(205)进行加热。
5.如权利要求3所述的喷铯装置,其特征在于,所述第二温度检测单元包括:第三温度传感器(203)、第四温度传感器(207)和第五温度传感器(209),依次设置于所述第一全金属管阀(202)、所述第一传导管(205)和所述第二全金属管阀(208)处,用于对相应部位的温度进行测量,并将测量温度值与目标温度值进行比较,通过反馈调节第二加热单元的电流使所述第一全金属管阀(202)、所述第一传导管(205)和所述第二全金属管阀(208)达到目标温度值。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法,例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理,例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆