[发明专利]一种喷嘴距离可调的喷铯装置有效

专利信息
申请号: 201710661921.6 申请日: 2017-08-04
公开(公告)号: CN107457110B 公开(公告)日: 2019-04-12
发明(设计)人: 李冬;徐强;左晨;李小飞;赵鹏;张权;王弘毅;陈德智 申请(专利权)人: 华中科技大学
主分类号: B05B12/12 分类号: B05B12/12;H01J9/02;H01J27/02
代理公司: 华中科技大学专利中心 42201 代理人: 廖盈春;曹葆青
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 喷嘴 距离 可调 装置
【权利要求书】:

1.一种喷嘴距离可调的喷铯装置,其特征在于,包括:移动平台单元(100)、喷铯装置主体单元(200)和负离子腔室单元(300);

所述喷铯装置主体单元(200)包括:储铯单元(210)、第一传导单元(220)、第二传导单元(230),所述储铯单元(210)设置于所述第一传导单元(220)的下侧,用于铯的存储和蒸发;所述第一传导单元(220)和所述第二传导单元(230)直接相连,两者均用于对铯的传输;

所述负离子腔室单元(300)包括:第一伸缩波纹管(301)、负离子腔室(303)和栅极板(304);所述第一伸缩波纹管(301)的一端与所述喷铯装置主体单元(200)相连,所述第一伸缩波纹管(301)的另一端与所述负离子腔室(303)相连;所述负离子腔室(303)用于对铯等粒子的承接,所述栅极板(304)设置于所述负离子腔室(303)远离所述喷嘴(233)侧,用于铯的沉覆;

所述移动平台单元(100)用于配合所述第一伸缩波纹管(301)移动所述喷铯装置主体单元(200),同时还对所述喷铯装置主体单元(200)起到支撑作用;

当所述移动平台单元(100)带动所述喷铯装置主体单元(200)移动时,所述第一伸缩波纹管(301)沿相同方向伸或缩,从而改变了所述喷嘴(233)与所述栅极板(304)的距离。

2.如权利要求1所述的喷铯装置,其特征在于,所述负离子腔室单元(300)还包括第三CF法兰(302),所述第三CF法兰(302)设置于所述负离子腔室(303)上,用于实现所述第一伸缩波纹管(301)和所述负离子腔室(303)的密封连接。

3.如权利要求1所述的喷铯装置,其特征在于,所述储铯单元(210)包括:安瓿瓶(212)、储铯管(211)和第一CF法兰(213);

所述安瓿瓶(212)设置在所述储铯管(211)的底端,用于储存铯;

所述储铯管(211)为下细上粗结构,与所述第一传导单元(220)匹配连接,用于对所述安瓿瓶(212)破裂时释放出的铯进行存储及蒸发;

所述第一CF法兰(213)用于连接所述储铯管(211 )与所述第一传导单元(220),且当所述安瓿瓶(212)中的铯消耗完需更换时便于拆卸。

4.如权利要求1所述的喷铯装置,其特征在于,所述第一传导单元(220)包括:盲板(221)、第一全金属管阀(222)、第一传导管(223)和第二全金属管阀(224);

所述盲板(221)通过所述第一全金属管阀(222)和所述第一传导管(223)相连,为抽真空预留接口,所述第一传导管(223)为中间粗且两边细结构,所述第一传导管(223)和所述第二传导单元(23 0)通过所述第二全金属管阀(224)连接,所述第二全金属管阀(224)用于控制铯蒸发的通断。

5.如权利要求1-4任一项所述的喷铯装置,其特征在于,所述第二传导单元(230)包括:第二CF法兰(231)、第二传导管(232)和喷嘴(233);

所述第二CF法兰(231)设置于所述第二传导管(232)的远离喷嘴(233)端,用于实现所述喷铯装置主体单元(200)和所述第一伸缩波纹管(301)的密封连接;

所述第二传导管(232)的一端与所述第一传导单元(220)连接,所述第二传导管(232 )的另一端通入所述负离子腔室(303),用于实现铯的传输;

所述喷嘴(233)设置于所述第二传导管(232)的末端,作为铯蒸汽的喷出口。

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