[发明专利]一种可形成内置电场的植入材料及其制备方法

权利要求书

1.一种可形成内置电场的植入材料，其特征是其由多层结构压电陶瓷材料组成。

2.根据权利要求1所述的可形成内置电场的植入材料，其特征在于：所述多层结构的基底层为钛酸锶，中间层为钌酸锶，表层为铁酸铋。

3.根据权利要求2所述的可形成内置电场的植入材料，其特征在于：所述可形成内置电场的植入材料为薄片状材料，厚度为100μm～800μm。

4.根据权利要求2所述的可形成内置电场的植入材料，其特征在于：所述铁酸铋厚度为10μm～80μm。

5.如权利要求1～4任意一项权利要求所述的可形成内置电场的植入材料的制备方法，其特征是所述可形成内置电场的植入材料由脉冲激光沉积法制成。

6.根据权利要求5所述的可形成内置电场的植入材料的制备方法，其特征在于包括如下步骤：

(1)以钛酸锶单晶作为电活性植入材料的衬底，将钛酸锶衬底依次置入丙酮、乙醇溶液中分别超声处理5～10分钟，用去离子水反复冲洗3～5次，氮气吹干后放入100℃～150℃的烘箱中烘烤3～6小时，冷却至室温；

(2)取所述步骤(1)处理后的钛酸锶单晶衬底，在其表面沉积钌酸锶，其参数条件为：激光频率为1～5HZ；激光能量为60～90mj；氧分压为10～20pa；生长时间为5～30分钟，生长温度为300～800℃；

(3)取所述步骤(2)所得钛酸锶-钌酸锶双层结构，在钌酸锶表面继续沉积铁酸铋薄膜，其参数条件：激光频率为5HZ；激光能量为70～90mj；氧分压为15～20pa；生长时间为5～60分钟，生长温度为300～800℃；

(4)取所述步骤(3)所得钛酸锶-钌酸锶-铁酸铋三层结构材料经过丙酮和乙醇清洗后晾干，得到可形成内置电场的植入材料。