[发明专利]多自由度调节装置、数字微镜坏点检测装置及方法

说明书

本发明涉及一种多自由度调节装置、数字微镜坏点检测装置及方法。本发明在对待测器件进行检测时，可以首先通过x轴方向自由度调节机构、y轴方向自由度调节机构和z轴方向自由度调节机构对待测器件进行微调，寻找待测器件所要检测的区域所成的图像并调正，微调效率高，调正误差小。通过数字微镜坏点检测装置的调整臂的俯仰和滑杆的转动，可以调整光源的高度和出光角度，从而调整照射数字微镜的光入射高度和入射角度，以达到最佳照射效果；利用数字图像处理方法进行数字微镜的坏点检测，与人眼观察的方式相比，检测速度快，检测精度高。

技术领域

本发明属于自由度调节技术领域和数字微镜坏点检测技术领域，涉及一种多自由度调节装置、数字微镜坏点检测装置及坏点检测方法。

背景技术

目前对数字微镜进行坏点检测时只是单纯的用显微镜进行测量，依靠人手直接推动寻找图像所需区域。这样不但在找寻图像时费时费力，而且得到的图像歪斜的角度很大，即便通过数字图像处理技术调正也存在有较大的误差。同时，在数字图像处理方面也没有成体系的计算方法，多数依靠人眼观察，并且无法得到坏点的坐标位置。

发明内容

本发明要解决的一个技术问题是提供一种可以代替人手直接推动的方式对待测器件进行多个方向上自由度调整的多自由度调节装置。

为了解决上述技术问题，本发明的多自由度调节装置包括固定平台，x轴方向自由度调节机构，y轴方向自由度调节机构，z轴方向自由度调节机构；x 轴方向自由度调节机构包括x轴方向微动平台和至少两个调节块；调节块与固定平台连接并可在其上沿X轴方向移动并锁紧固定，x轴方向微动平台放置于固定平台上并可通过调节块限定所在的位置；y轴方向自由度调节机构包括y 轴方向微动平台和压紧端盖；y轴方向微动平台固定在x轴方向微动平台上，其上具有两个竖直平行的侧板；其中一个侧板与压紧端盖的对应侧板通过压簧隔开，两者之间的距离可通过压簧进行调节；y轴方向微动平台的另一个侧板通过丝杆与压紧端盖的对应侧板隔开，两者之间的距离可通过丝杆进行调节；z 轴方向自由度调节机构包括z轴方向微动平台及水平调节机构；z轴方向微动平台可通过水平调节机构调节使其倾斜角度为0并锁紧固定；待测器件放置在 z轴方向微动平台上，压紧端盖上与待测器件对应的位置加工有检测窗口。

进一步，本发明还包括二维移动平台，所述固定平台安装固定在二维移动平台的可移动部件上；

在对待测器件进行检测时，可以首先通过x轴方向自由度调节机构、y轴方向自由度调节机构和z轴方向自由度调节机构对待测器件进行微调，寻找待测器件所要检测的区域所成的图像并调正。微调效率高，调正误差小；通过二维移动平台可以实现待测器件在x、y两个方向的移动。本发明可应用于数字微镜检测位置的调节，也可应用于图像处理领域中待处理器件位置的调节。

所述的x轴方向自由度调节机构包括两个与x轴方向微动平台一体连接的调节块，其上带有X向的长条形孔；调节块通过该长条形孔和螺钉与固定平台连接。

当待测器件在X轴方向有偏移和/或偏角时，可以手动调节x轴方向微动平台使其偏移量和偏角都为零，然后用螺钉锁紧固定。

所述水平调节机构包括三个调节丝杆和紧固螺钉以及固定在压紧端盖上表面的横向水平气泡、纵向水平气泡；三个调节丝杆与y轴方向微动平台螺纹连接且呈三角形分布，顶部与z轴方向微动平台底面接触；紧固螺钉位于三角形内且与z轴方向微动平台和y轴方向微动平台螺纹连接。转动三个调节丝杆调节z轴方向微动平台倾角时，可通过横向水平气泡、纵向水平气泡进行观测。当z轴方向微动平台处于水平位置后，通过紧固螺钉压紧固定z轴方向微动平台。