[发明专利]多层复合结构毛细喷孔及其制造方法

权利要求书

1.一种毛细喷孔的制备方法，其特征在于：所述毛细喷孔是由引流部件、独立悬空部件和用于支撑所述独立悬空部件的梁桥部件组合而成的多层复合结构，所述梁桥部件位于所述引流部件和所述独立悬空部件之间，形成悬臂梁结构；

制备方法包括如下步骤：

S1：绘制引流部件、梁桥部件和独立悬空部件三个独立模块，在每个模块上制作出对准符号，用以不同结构模具采用原位制造时上下对准用，然后将图形用光刻蚀制作出三块独立的微米级及以下线宽的、依附于基板上的Cr薄膜图形版；

S2：根据制作的要求选择基板作为衬底，制备一层与基板和光敏高分子材料均有良好粘结效果的粘结层，再在粘结层上喷涂一层均厚的液状光敏高分子材料，将喷涂上去的液状光敏高分子材料，烘干成固体；

S3：将制作好的Cr薄膜图形版面对面紧压在固体光敏高分子材料上，然后采用紫外光源，对Cr薄膜没有阻挡的光敏高分子材料进行光化学反应，得到光敏高分子材料基板；

S4：将光敏高分子材料基板放入化学试剂，溶解掉需要去除的部分，从而形成所需注模的三维微模具；

S5：用电化学微电铸的方法依次逐层浇注出所需要的三维结构即独立悬空、梁桥部件和引流部件；

S6：利用原位制造技术，将预先在Cr薄膜图形版上画好的对准符号对准下一个图形，重复S2-S5步骤一层一层的叠加，制作出独立悬空、梁桥部件和引流部件融为一体的三位复合结构的毛细喷孔主体；

S7：将高分子材料碳化，然后进一步通氧变成二氧化碳，去除光敏高分子材料，整体释放出一体化的完整毛细喷孔孔道。

2.根据权利要求1所述的毛细喷孔的制备方法，其特征在于：所述衬底采用玻璃或石英。

3.根据权利要求1所述的毛细喷孔的制备方法，其特征在于：所述引流部件、所述梁桥部件和所述独立悬空部件是依次首尾相连，呈自下而上或自上而下设置。

4.根据权利要求1所述的毛细喷孔的制备方法，其特征在于：所述引流部件为浆液的引流孔，用于控制浆液流入量。

5.根据权利要求1所述的毛细喷孔的制备方法，其特征在于：所述独立悬空部件是一根独立悬空柱状部件，其四周为所述毛细喷孔的孔道，从俯视图看，所述孔道、所述独立悬空部件形成一环状，其中柱状部件为所述环状的中心图形，是产品内腔形成中空的成型腔体。

6.根据权利要求5所述的毛细喷孔的制备方法，其特征在于：所述的孔道为无缝的环状孔道，用于浆液流经的通道，即中空纤维成形的腔体，也是毛细喷孔内部的空洞。

7.根据权利要求5所述的毛细喷孔的制备方法，其特征在于：所述柱状部件的形状为多种形状，所述孔道形状也为多种形状，所述孔道位于所述柱状部件外周，两者的形状相同或不同。

8.根据权利要求5所述的毛细喷孔的制备方法，其特征在于：所述孔道的外径小于400μm，内径外径的间距小于50μm，精度误差0.5μm。

9.根据权利要求8所述的毛细喷孔的制备方法，其特征在于：所述孔道外径小于100μm。

10.根据权利要求1-9任一项所述的毛细喷孔的制备方法，其特征在于：所述梁桥部件为支撑梁。