[发明专利]微机械结构元件

权利要求书

1.一种微机械结构元件(1)，其具有主延伸平面(100)，其中，所述微机械结构元件(1)包围第一空腔(3)并且包围第二空腔(5)，其中，在所述第一空腔(3)中存在第一压力并且在所述第二空腔(5)中存在第二压力，其特征在于，所述微机械结构元件(1)的基本上平行于所述主延伸平面(100)延伸的第一层(7)在所述第一空腔(3)与所述第二空腔(5)之间基本上垂直于所述主延伸平面(100)地伸入所述微机械结构元件(1)的基本上平行于所述主延伸平面(100)延伸的第二层(9)中，所述第一层(7)伸入所述第二层(9)中，使得所述微机械结构元件包括将所述第二层(9)分隔开的分隔区域(17)。

2.根据权利要求1所述的微机械结构元件(1)，其中，所述第二层(9)包括氧化物层。

3.根据权利要求1所述的微机械结构元件(1)，其中，所述第二层(9)包括硅氧化物层。

4.根据权利要求1所述的微机械结构元件(1)，其中，所述第二层(9)包括二氧化硅层。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的微机械结构元件(1)，其中，所述分隔区域(17)布置成在第一空腔(3)与第二空腔(5)之间地和/或平行于所述主延伸平面(100)地包围第一空腔(3)和/或平行于所述主延伸平面(100)地包围第二空腔(5)。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的微机械结构元件(1)，其中，所述第一层(7)伸入所述第二层(9)中，使得所述第二层(9)的第一层区域(11)和所述第二层(9)的第二层区域(13)布置成平行于所述主延伸平面(100)地彼此间隔开。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的微机械结构元件(1)，其中，所述第二层(9)的第一层区域(11)在平行于所述主延伸平面(100)的平面中包围第一空腔(3)。

8.根据权利要求1至4中任一项所述的微机械结构元件(1)，其中，所述第二层(9)的第二层区域(13)在平行于所述主延伸平面(100)的平面中包围第二空腔(5)。

9.根据权利要求1至4中任一项所述的微机械结构元件(1)，其中，所述第一层(7)伸入所述第二层(9)中，使得所述第二层(9)的第一层区域(11)和所述第二层(9)的第三层区域(15)布置成平行于所述主延伸平面(100)地彼此间隔开。

10.根据权利要求1至4中任一项所述的微机械结构元件(1)，其中，所述第一层(7)伸入所述第二层(9)中，使得所述第二层(9)的第二层区域(13)和所述第二层(9)的第三层区域(15)布置成平行于所述主延伸平面(100)地彼此间隔开。

11.根据权利要求1至4中任一项所述的微机械结构元件(1)，其中，所述第二层(9)的第三层区域(15)在平行于所述主延伸平面(100)的平面中包围所述第二层(9)的第一层区域(11)。

12.一种微机械结构元件(1)，其具有主延伸平面(100)，其中，所述微机械结构元件(1)包围第一空腔(3)，其中，在所述第一空腔(3)中存在第一压力，其特征在于，所述微机械结构元件(1)的基本上平行于所述主延伸平面(100)延伸的第一层(7)基本上垂直于所述主延伸平面(100)地伸入所述微机械结构元件(1)的基本上平行于所述主延伸平面(100)延伸的第二层(9)中，其中，所述第一层(7)伸入所述第二层(9)中，使得所述微机械结构元件包括将所述第二层(9)分隔开的分隔区域(17)。

13.根据权利要求12所述的微机械结构元件(1)，其中，所述第二层(9)包括氧化物层。

14.根据权利要求12所述的微机械结构元件(1)，其中，所述第二层(9)包括硅氧化物层。