[发明专利]制备高精度图案化的量子点发光层的方法及其应用在审

专利信息
申请号: 201710680555.9 申请日: 2017-08-10
公开(公告)号: CN107611021A 公开(公告)日: 2018-01-19
发明(设计)人: 陈树明;纪婷婧;孙小卫 申请(专利权)人: 南方科技大学
主分类号: H01L21/027 分类号: H01L21/027;H01L33/00;H01L33/06;H01L33/24;H01L33/28
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)11201 代理人: 黄德海
地址: 518055 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 制备 高精度 图案 量子 发光 方法 及其 应用
【权利要求书】:

1.一种制备高精度图案化的量子点发光层的方法,其特征在于,包括:

(1)在衬底的一侧涂布反转光刻胶,并对所述反转光刻胶进行光刻处理,以便形成纵截面为倒梯形的镂空图案;

(2)对所述镂空图案处的所述衬底进行疏水处理,并沉积量子点薄膜;

(3)对所述量子点薄膜进行交联处理;

(4)剥离所述反转光刻胶。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述反转光刻胶的厚度为1.5~10微米。

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述涂布反转光刻胶的步骤之后,所述光刻处理进一步包括:

(1-1)对所述涂布有反转光刻胶的衬底进行前烘处理;

(1-2)对所述退火处理后的反转光刻胶进行曝光处理;

(1-3)对所述曝光处理后的反转光刻胶进行反转烘处理;

(1-4)对所述反转烘处理后的反转光刻胶进行泛曝光处理;

(1-5)对所述泛曝光处理后的反转光刻胶进行显影处理。

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述疏水处理采用的是六甲基二硅氧烷。

5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述交联处理使用的交联材料为双端氨基长链烷烃,优选为1,7-二氨基庚烷。

6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述交联处理进一步包括:

(3-1)将所述沉积有量子点薄膜的衬底浸入含有1,7-二氨基庚烷的正丁醇溶液中1~5分钟;

(3-2)将所述沉积有量子点薄膜的衬底取出并再放入正丁醇溶液中浸泡5~30s,之后使用氮气枪吹干,以便获得交联处理后的量子点薄膜。

7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述剥离是在丙酮溶液中进行超声处理。

8.一种量子点彩膜,其特征在于,包括通过权利要求1~7任一项所述的方法制备的量子点发光层。

9.一种量子点发光二极管,其特征在于,包括通权利要求1~7任一项所述的方法制备的量子点发光层。

10.一种显示装置,其特征在于,包括权利要求8所述的量子点彩膜或权利要求9所述的量子点发光二极管。

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