[发明专利]制备高精度图案化的量子点发光层的方法及其应用在审
申请号: | 201710680555.9 | 申请日: | 2017-08-10 |
公开(公告)号: | CN107611021A | 公开(公告)日: | 2018-01-19 |
发明(设计)人: | 陈树明;纪婷婧;孙小卫 | 申请(专利权)人: | 南方科技大学 |
主分类号: | H01L21/027 | 分类号: | H01L21/027;H01L33/00;H01L33/06;H01L33/24;H01L33/28 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)11201 | 代理人: | 黄德海 |
地址: | 518055 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制备 高精度 图案 量子 发光 方法 及其 应用 | ||
1.一种制备高精度图案化的量子点发光层的方法,其特征在于,包括:
(1)在衬底的一侧涂布反转光刻胶,并对所述反转光刻胶进行光刻处理,以便形成纵截面为倒梯形的镂空图案;
(2)对所述镂空图案处的所述衬底进行疏水处理,并沉积量子点薄膜;
(3)对所述量子点薄膜进行交联处理;
(4)剥离所述反转光刻胶。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述反转光刻胶的厚度为1.5~10微米。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述涂布反转光刻胶的步骤之后,所述光刻处理进一步包括:
(1-1)对所述涂布有反转光刻胶的衬底进行前烘处理;
(1-2)对所述退火处理后的反转光刻胶进行曝光处理;
(1-3)对所述曝光处理后的反转光刻胶进行反转烘处理;
(1-4)对所述反转烘处理后的反转光刻胶进行泛曝光处理;
(1-5)对所述泛曝光处理后的反转光刻胶进行显影处理。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述疏水处理采用的是六甲基二硅氧烷。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述交联处理使用的交联材料为双端氨基长链烷烃,优选为1,7-二氨基庚烷。
6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述交联处理进一步包括:
(3-1)将所述沉积有量子点薄膜的衬底浸入含有1,7-二氨基庚烷的正丁醇溶液中1~5分钟;
(3-2)将所述沉积有量子点薄膜的衬底取出并再放入正丁醇溶液中浸泡5~30s,之后使用氮气枪吹干,以便获得交联处理后的量子点薄膜。
7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述剥离是在丙酮溶液中进行超声处理。
8.一种量子点彩膜,其特征在于,包括通过权利要求1~7任一项所述的方法制备的量子点发光层。
9.一种量子点发光二极管,其特征在于,包括通权利要求1~7任一项所述的方法制备的量子点发光层。
10.一种显示装置,其特征在于,包括权利要求8所述的量子点彩膜或权利要求9所述的量子点发光二极管。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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