[发明专利]线栅组件、起偏照明装置及光配向设备

说明书

本发明提供了一种线栅组件、起偏照明装置及光配向设备，每个所述第一线栅偏振元件和所述第二线栅偏振元件均包括基底和形成于基底表面的线栅，所述第一线栅偏振元件和所述第二线栅偏振元件的线栅的栅距相等；多个所述第一线栅偏振元件并排拼接，并且每个所述第一线栅偏振元件之间有拼接缝隙；在所有所述拼接缝隙的上方或下方均覆盖有所述第二线栅偏振元件，使入射至所述拼接缝隙的光束被所述第二线栅偏振元件偏振，采用两种线栅偏振元件进行搭接，对线状光源发出的所有光线进行偏振，能有效的防止照射在线栅偏振元件排列方向的非偏振光从拼接缝隙中泄露，获得更好的消光比和照度均匀性。

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种线栅组件、起偏照明装置及光配向设备。

背景技术

光取向的技术使用起偏照明装置向光取向膜照射特定波长的偏振光而进行取向，即将规定波长的偏振光照射在配向膜上，使得与偏振光的偏振轴方向一致或垂直的配向膜发生光致反应。

起偏照明装置一般由照明组件和线栅组件构成，由于配向膜需要的是波长在250nm～320nm的紫外线，线栅组件的线栅栅格间距优选为100nm，而目前半导体加工装置所能加工的基材直径为300mm。因此用于起偏照明装置的线栅组件的线栅只能采用多个线栅光源长度方向排列布置。

由于线栅组件是从玻璃基底上切割下来的，在边缘会存在微小的缺口或凹凸，只将这些偏振元件相抵排列会存在间隙，来自照明组件的直射光(无偏振光)从该间隙漏出，消光比会变差；而且切割时边缘的破损会引起栅格的缺损，在偏振元件的周边部分消光比也会变差。

发明内容

本发明的目的在于提供一种线栅组件、起偏照明装置及光配向设备，以解决现有技术中中线状光源发出的光通过线栅组件后消光比差，照度不均匀等问题。

为了达到上述目的，本发明提供了一种线栅组件，将入射到所述线栅组件的光束变为偏振光，所述线栅组件包括第一线栅偏振元件和第二线栅偏振元件；

所述第一线栅偏振元件和所述第二线栅偏振元件均包括基底和形成于基底表面的线栅，所述第一线栅偏振元件和所述第二线栅偏振元件的线栅的栅距相等；

所述第一线栅偏振元件设有多个，多个所述第一线栅偏振元件并排拼接，并且相邻两个所述第一线栅偏振元件之间均有拼接缝隙；

在所有所述拼接缝隙的上方或下方均覆盖有所述第二线栅偏振元件，使入射至所述拼接缝隙的光束被所述第二线栅偏振元件偏振；

可选的，每个所述第二线栅偏振元件与每个所述拼接缝隙之间在垂向上有空隙；

可选的，所述空隙的垂向高度优选为1mm～2mm；

可选的，每个所述第一线栅偏振元件与相邻的另一第一线栅偏振元件进行拼接的拼接面均呈台阶形状，所述第二线栅偏振元件嵌入在相邻两个所述第一线栅偏振元件的拼接面之间；

可选的，所述拼接面包括两级台阶，相邻两个所述第一线栅偏振元件的拼接面组合形成所述拼接缝隙和位于拼接缝隙下方的“凸”形空间，所述第二线栅偏振元件为凸形结构，所述凸形结构嵌入在所述“凸”形空间内；

可选的，所述拼接缝隙的下方设置有透明支撑部；

可选的，所述拼接缝隙的隙宽优选为2mm～5mm；

可选的，所述第二线栅偏振元件的栅面宽度大于3倍所述拼接缝隙的隙宽；

可选的，所述第二线栅偏振元件的栅面宽度还需大于：拼接缝隙的隙宽+2*(所述第二线栅偏振元件与第一线栅偏振元件的线栅面高度差+第二线栅偏振元件自身的加工误差和缺陷影响宽度)；

可选的，所述拼接缝隙中通入有冷却保护气体；

本发明还提供了一种起偏照明装置，所述起偏照明装置包括照明组件和所述线栅组件；