[发明专利]一种利用等离子体激活电子倍增器的方法

权利要求书

1.一种利用等离子体激活电子倍增器的方法，其特征在于：所述方法步骤如下，

将性能衰退或失效的电子倍增器放入到等离子体清洗设备后，对等离子体清洗设备先进行抽真空处理，再充入含有氧原子的氧化性气体，使等离子体清洗设备内部气压为50mTorr～200mTorr，然后在50W～200W的输入功率下处理5min～120min，利用等离子体的高反应活性清除电子倍增器打拿极二次电子发射薄膜表面的污染物，同时等离子体态的氧可以进入发射薄膜材料内部，填补在大电子束流轰击下形成的缺陷位，实现电子倍增器功能的激活。

2.根据权利要求1所述的一种利用等离子体激活电子倍增器的方法，其特征在于：在激活电子倍增器的过程中，等离子清洗设备内部温度控制在20℃～50℃。

3.根据权利要求1所述的一种利用等离子体激活电子倍增器的方法，其特征在于：所述含有氧原子的氧化性气体为氧气、二氧化碳气体、氧气与惰性气体的混合气体，或者二氧化碳与惰性气体的混合气体。

4.根据权利要求3所述的一种利用等离子体激活电子倍增器的方法，其特征在于：所述含有氧原子的氧化性气体为氧气与惰性气体的混合气体时，氧气的体积分数不少于10％；所述含有氧原子的氧化性气体为二氧化碳气体与惰性气体的混合气体时，二氧化碳气体的体积分数不少于40％。